本实用新型涉及晶圆流片检测装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆流片用散热性能检测装置，其可节约水资源，提高使用性；同时方便移动检测头使其与样品进行接触，提高使用效果；且减轻余热对样品散热效果的影响，提高使用可靠性；同时方便将样品从限位环内取出，提高使用效果；包括工作台、支撑架、三组检测头、三组显示器、进水管、出水管和三组限位环，三组显示器分别与三组检测头电连接；还包括连通管、抽液泵和加热器，进水管输入端和出水管输出端分别与抽液泵输入端和加热器输出端连接；支撑架包括四组第一伸缩电机和顶板；还包括放置盒和调节件，放置盒底端与工作台顶端接触；还包括移动件，限位环底端与放置槽内底壁接触。
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来源：北方有色网
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