本实用新型公开了一种
芯片性能检测探针台，探针台底座上设置第一XY位移丝杆，升降旋转模组包括升降台、角度旋转台和样品台，样品台设置在角度旋转台上，角度旋转台设置在升降台上，升降台固定在升降第一XY位移平台上以带动升降旋转模组在探针台底座的X轴和Y轴移动；探针组件包括探针以及固定定位探针的探针定位器，探针定位器设置在探针台底座上，探针台底座上还设置龙门架，龙门架上设置第二XY位移平台，相机和显微镜通过固定板连接第二XY位移平台以使得能够沿龙门架的X轴和Y轴移动。本实用新型可以实现被测试样品的精密位置移动，可以让显微镜XY轴精密移动，通过样品台和显微镜的配合，快速精准的找到芯片样品被测点快速完成测试。
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“一种芯片性能检测探针台” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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