一种工件台动态性能检测方法,工件台动态性能检测装置，包括蓝光激光刻写模块、照明与成像模块、计算机、反射镜、透蓝反红二向色镜片、反红蓝透白光二向色分光平片、刻写物镜、红光激光测距模块、反射镜、调焦机构、压电陶瓷、测试片、工件台、控制器。将测试片放置于工件台上，通过调焦机构将蓝光聚焦到测试片的表面。同步控制工件台与控制器，完成工件台动态特性的速度、加速度、直线度、最小步距、往复运动特性、垂直度检测及重复定位精度检测。本发明将工件台的多种动态特性静态化表征，方便测量，检测精度高、检测灵敏度高。
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来源：北方有色网
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