本发明公开了一种切削废悬浮液回收的方法,其特征在于将硅晶片加工工艺中的线切削废砂浆进行多级处理,包括如下步骤:固液分离、悬浮液的初级过滤、悬浮液的精滤、悬浮液的浓缩干燥。本发明的方法使回收的聚乙二醇(PEG)基或油基悬浮液达到与全新原料相同或相近的性能指标,并满足硅晶切片工序的使用要求,可完全替代新料的回收方法,通过该方法可以实现同一批料多次回收循环再利用的目的,不仅最大限度地提高了原材料的使用效率,降低了硅片的生产成本,而且避免了废砂浆排放给环境造成的污染。
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来源：北方有色网
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