本发明涉及一种吸气剂微泵及其制备方法，属于电真空元件制造技术领域。该吸气剂微泵由热子型吸气剂、电极杆、T型玻璃管和圆形玻璃片等组成，热子型吸气剂由具有绝缘层的加热丝及涂覆在加热丝绝缘层上的吸气材料构成，两个电极杆分别连接在热子型吸气剂的加热丝两端，圆形玻璃片封盖在T型玻璃管的一端，热子型吸气剂和部分电极杆真空密封在T型玻璃管中，两个电极杆的一端通过圆形玻璃片上的两个圆孔露出在T型玻璃管的外部。本发明还公开了该吸气剂微泵的制备方法。本发明的吸气剂微泵极大的提高了吸气剂与玻璃真空腔室的兼容性，提高了吸气剂的贮存寿命，具有安装方便、激活使用方便、吸气性能优良等特点。
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来源：北方有色网
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