本发明公布了一种抗粉化块体吸气剂的制备方法，所述方法包括如下步骤：将吸气合金中的原料按一定比例进行配制，通过熔炼的方法制备成合金，然后对合金在保护气氛下进行破碎和球磨；将吸气合金粉末与0.1~70%wt%钛及钛合金纤维均匀混合形成合金混合物；将上述合金混合物在钢性模具中进行压制形成压坯；在真空度为3~5×10
‑3 Pa的真空环境下，对压坯进行真空烧结，即可得到抗粉化能力强的块体吸气剂。本发明产生的块体吸气剂产品，在MEMS晶元级封装中具有较好的韧性，克服了产品使用过程中掉粉掉渣的现象，能够维持晶元封装后在振动环境下较好的真空度，有利于延长使用寿命，并且结构设计简单，适合大批量生产，可以有效地满足用户的需求。
声明：
“抗粉化块体吸气剂的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
1112
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
