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基于磁控溅射工艺的电子烟陶瓷发热片及其制备方法

1343   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 14:58:54
本发明提供了一种基于磁控溅射工艺的电子烟陶瓷发热片及其制备方法,本发明中利用磁控溅射工艺结合掩膜板在陶瓷发热片表面直接溅射出金属发热薄膜,再通过真空烧结工艺将保护釉层烧结于发热区域一端表面,并采用化学镀工艺,在发热薄膜的另一端表面镀覆金属电极,最后激光切割得到陶瓷发热片;其中,保护釉层主要由玻璃粉、掺氧化、二硼化钛颗粒、氧化钇组成,提高了保护釉的硬度性能,经以上材料和工艺制备出的HNB电子烟陶瓷发热片,整体工艺简便易行,制备的金属薄膜厚度均匀且图形尺寸可精细控制,使得最终的合金电阻均匀且重复性好,节省了材料和时间成本。
声明:
“基于磁控溅射工艺的电子烟陶瓷发热片及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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