本发明公开了一种高纯、高致密、大尺寸钼钛合金溅射靶材的制备方法，包括如下步骤：（1）混料：选择钼和氢化钛作为粉体原料，两种粉体在氩气保护气氛中进行混合得到合金粉末；（2）压制成型：将混合好的粉体原料装入胶套模具中进行冷等静压处理；（3）烧结：将压制毛坯在真空烧结炉中进行第一阶段脱氢烧结和第二阶段致密化烧结，最终得到烧结毛坯；（4）轧制；（5）退火；（6）机械加工：将退火之后的靶材毛坯进行机械加工得到钼钛合金溅射靶材产品。本发明生产的钼钛合金溅射靶材成分均匀、无偏析、晶粒细小、纯度高、致密性好。
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“高纯、高致密、大尺寸钼钛合金溅射靶材的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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