本发明公开了一种反应烧结
碳化硅陶瓷均温板，其制造方法包括以下步骤：制备粉料，将碳与碳化硅混合，加入硬脂酸
锌、聚乙烯醇喷雾造粒，得到粉料；压制坯块；真空烧结，在坯块表面放置硅粉，进行反应烧结；氧化烧结，将得到的均温板进行氧化烧结。本发明适用不同厚度均温板外形结构形式的制作，材质致密、尺寸精确、成品率高。本发明制作的均温板具有良好的热传导性能、较高的高温强度和低热膨胀系数，良好的高温抗腐蚀性能，尤其是通过，超过正常反应温度的1800～1900℃烧结，使渗硅反应更加充分，保证了材质的致密，避免了产品的开裂；另外，通过高温氧化烧结，可检验产品高温状态下的应力变化，杜绝应用过程中的质量问题发生，降低应用成本。
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“反应烧结碳化硅陶瓷均温板” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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