本发明属于
有色金属靶材制备技术领域，具体涉及了一种轧制加工钨钛合金靶材的制备方法。该方法以W粉与TiH2粉末为原料，依次经混合、压坯、预烧、烧结、包套、轧制、热处理步骤，最终得到所述钨钛合金靶材。本发明采用将W粉与TiH2粉末混合后压制成型，压坯经过预烧还原和高温真空烧结，坯料带包套进行轧制的工艺；压坯经过预烧还原可以有效地降低坯料中的杂质含量和氧含量，再经高温真空烧结，可得到高纯度钨钛合金坯料；坯料带包套后可以在大气气氛加热炉内进行加热，避免坯料中Ti元素的加热氧化现象，保证轧制加工的顺利进行；最终得到靶材致密度可达到99.6％以上，厚度尺寸可控，工艺简单且适合大批量工业化生产。
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“轧制加工钨钛合金靶材的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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