一种法兰密封连接装置，包括第一法兰、第二法兰，第一法兰与第二法兰对接设置，在第一法兰的一个端面上开设相互不连通的内侧凹槽、外侧凹槽、中间凹槽，中间凹槽的上端与第一法兰的端面连通，中间凹槽的下端穿过第一法兰，以与外界抽真空系统连通，本实用新型还提出一种采用法兰密封连接的超高真空烧结炉，包括炉筒、炉盖、法兰密封连接装置，本实用新型采用法兰密封连接装置实现炉筒与炉盖之间的密封连接，内侧凹槽及内部设置的密封圈形成一级密封结构，外侧凹槽及内部设置的密封圈形成二级密封结构，中间凹槽抽真空形成三级密封结构，通过中间凹槽抽真空的设置，降低了密封圈对气体的泄露风险。
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来源：北方有色网
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