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氮化硅用卧式真空烧结炉

1173   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 14:57:02
本实用新型属于氮化硅制备装置领域,尤其涉及一种氮化硅用卧式真空烧结炉。氮化硅用卧式真空烧结炉,包括水平放置的炉体及与炉体连接的抽真空装置,炉体一端与封盖活动连接,炉体内设有烧结箱,炉体外设有氮气罐,氮气罐通过第一管道与烧结箱连接。本实用新型结构简单,操作方便,炉中放置、取出匣钵时方便且高效,安全性高。
声明:
“氮化硅用卧式真空烧结炉” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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