本发明公开了一种石英玻璃棒温度和功率联合控制真空烧结方法，升温至烧结温度前，加热电源采用温度PID控制模式，达到烧结温度10min后，程序自动切换至功率控制模式，以避免因红外测温不准，而造成石英玻璃棒因实际温度过高造成的玻璃棒拉长报废的问题，烧结阶段Phase结束后，程序再自动切换至温度PID控制模式；根据上一炉烧结运行数据，各段红外测温温度和加热电源功率输出，对下一炉烧结配方recipe数据进行修正；本发明采用温度和功率联合控制控制，可实现真空烧结多段红外温度与实际温度相差较大时，仍可烧结出均匀性较好的石英玻璃棒，以提高真空烧结设备使用率和石英玻璃棒成品合格率。
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来源：北方有色网
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