本发明公开了一种有机无机杂化光电探测器，属于光电探测技术领域。本发明提供了一种基于TiO2电子传输层和无机金属氧化物界面修饰层的
钙钛矿光电探测器及其制备方法，探测器包括在导电基底上通过原子层沉积技术生长的TiO2致密层作为电子传输层，接着制备一层有机无机杂化钙钛矿薄膜作为光敏层，随后沉积一层spiro‑OMeTAD空穴传输层，接着沉积一层无机氧化物界面修饰层(包括MoO3、WO3或者V2O5的一种)，最后沉积一层Au或者Ag作为金属电极。所述TiO2作为电子传输层和无机氧化物作为界面修饰层，提升了光电探测器寿命、降低了探测器的暗电流，提高了其探测率，降低了器件的制备成本，有利于实现钙钛矿光电探测器的产业化。
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来源：北方有色网
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