一种能够对离子的质量数加以显示、控制和 准确锁定的装置。其锁定精度在1-75a·m·u 范围内为±0.2a·m·u：在75-122a·m·u 范围内为±0.3a·m·u，从而能作到双电荷、 三电荷离子的注入锁定。将它安装在离子注入机 上，能够保证离子注入时掺杂的纯度、精密度和 重复精度，有效地提高了集成电路
芯片的成品率。 该装置还可用于需要对离子质量数进行监控和锁 定的冶金、金属加工以及超导研究等方面。
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“离子质量数监控及锁定装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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