本发明提供一种X射线平板探测器及其制备方法，所述制备方法包括：首先制备获得薄膜晶体管，在薄膜晶体管表面形成第一导电类型传输层；然后在第一导电类型传输层表面形成有机无机杂化
钙钛矿层；接着在有机无机杂化钙钛矿层表面形成第二导电类型传输层；再在第二导电类型传输层表面形成透明顶电极层；最后在透明顶电极层表面形成钝化层、闪烁体层。本发明采用基于有机无机杂化钙钛矿材料的光电二极管作为探测器光敏元件，由于钙钛矿膜的缺陷态密度低，可以减小被缺陷捕获的光电子数，进而可以减小探测器的残影，提高成像性能；另外，本发明采用溶液法制备有机无机杂化钙钛矿光电二极管，工艺简单，成本低，尤其适合于制备柔性X射线平板探测器。
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来源：北方有色网
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