本发明公开了一种
铜制齿轮淬火感应传感器陶瓷镀层，以薄膜热膨胀系数递减为顺序，依次沉积Cu‑Ti‑Zr薄膜、Ti‑Zr薄膜与(Ti,Zr)N+(Zr,Ti)N薄膜，形成纳米结构多层膜材料作为镀层，所述薄膜厚度为2.5μm‑10μm。同时公开了该多层膜结构镀层的制备方法。本发明解决目前工业应用过程中传感器和对向工件之间因碰撞而发生的打火问题，改善传感器表面耐磨性与绝缘性，提升淬火效率；利用多靶共聚焦非平衡磁控溅射技术，以热膨胀系数递减与层间冶金结合为原则设计涂层，提升膜基结合力，更具应用价值。
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来源：北方有色网
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