增强镀膜玻璃耐磨和耐腐蚀性能的靶材及其制备方法，靶材的主要成分是锆基材料，靶材形状和规格不受限制，可以制成旋转靶材和平面靶材，旋转靶材用等冷喷涂和等离子喷涂工艺制备，平面靶材用
粉末冶金工艺制备靶块，再拼接绑定成大尺寸靶材；靶材结构致密、成分均匀、导电性好；密度为(5.3～5.9)g/cm3，相对密度均＞90％。该靶材具有良好的溅射性能，弧光稳定，溅镀速率为(0.5～1.0)nm*m/min，镀制的锆基膜层作为保护膜，和相邻膜层之间有良好的结合力，具有良好的耐磨性和耐候性, 玻璃镀膜后不需要膜面保护，可长期储存，便于异地深加工，并有效防止镀膜玻璃在后续深加工过程中划伤报废，合片前不需边部除膜。
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来源：北方有色网
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