本发明提出了基于地质勘探的微震动测试仪，设置调制器产生两路幅值和频率相同，相位相反的高频载波信号，并分别连接到MEMS传感器中差分电容的两端，差分电容输出信号再经过相敏解调得到加速度信号，一方面，为了提高微震动测试仪的灵敏度，以及便于后级电路可有效将MEMS传感器输出信号从信号噪声中提取出来；另一方面采用双路载波的调制方式，在C‑V转换器开环增益够大时，C‑V转换器内置放大器的反相输入端电平接近于0，即反相输入端的输入电容和杂散电容对测量电路的影响就非常小，同时该电路结构简单，两路高频载波在参数上一致，避免因参数不匹配产生误差。
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来源：北方有色网
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