Zr元素掺杂AZO靶材, 采用
粉末冶金法工艺方法，将原料粉ZrO2粉与AZO粉混合，使掺杂的ZrO2含量为0.5％，然后对原料粉体进行球磨处理，得到粒度细而均匀的类球形颗粒；将处理过的粉末进行装模；装模后进行冷等静压，压力范围100MPa～200MPa，而后进行烧制，烧制温度范围为1200℃～1500℃；目的是优化晶体结构和表面形貌，增强AZO薄膜的光电特性，提高薄膜的稳定性。从而完善薄膜性能、降低反应温度、提高控制精度、降低制备成本和适应大规模生产。
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编辑：管理员
来源：北方有色网
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