一种检测金属原子在非晶合金扩散深度的新方法，首先将非晶合金加工，打磨，在丙酮中进行超声波清洗和脱脂，放置于磁控溅射镀膜设备的真空炉中；进行扩散退火热处理实验前，镀膜后的样品被密封在真空玻璃管内，保温，扩散退火热处理之后，试样快速冷却至室温；采用二次离子质谱仪对金属/非晶合金扩散偶的原子分布情况进行分析，测试过程离子源对样品进行逐层剥离，通过对二次离子的质量分析，获得样品表层元素成分及元素沿纵向深度的分布状态；将TEM结果相结合，获得不同原子在非晶合金中扩散浓度与深度的变化曲线；最终可推算出扩散系数，本发明使金属原子与非晶合金最终达到原子级别的冶金结合，基体并保持非晶态，获得更为可靠准确的数据。
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来源：北方有色网
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