本发明属于合金靶材及
粉末冶金材料加工技术领域，具体提供了一种Al‑Sc‑X多元合金靶材，所述Al‑Sc‑X合金靶材由以下重量百分比计的组分组成：50％～98％Al，1％～48％Sc，1％～49％X，其中所述X为Si、Mg、Ti、V、Cr、Mn、Co、Ni、Cu、Y、Nb、Mo、Ta、W和Ag中的一种或多种，该合金靶材可以拓展
铝钪合金靶材应用范围。本发明进一步提供了一种Al‑Sc‑X多元合金靶材的制备方法，该方法采用粉末冶金热压烧结制备合金靶材，解决了与Al的熔点相差较大的金属与Al难以实现冶金结合的问题，且Sc和X不易发生氧化反应，该方法制备流程短，技术参数控制准确，适合批量生产。
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“Al-Sc-X多元合金靶材及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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