接触端头结构被制备在牺牲衬底上,以便以后连接至互连元件,互连元件包括复合互连元件、单体互连元件、探针板的钨针、膜板探针的接触凸台以及类似元件。端头结构之间的空间关系可按照平版印刷方式以很高精度公差界定。端头结构的冶金术与要通过
铜焊、镀敷或类似方法连接的互连元件的冶金术无关。接触端头结构可以容易地形成拓扑(小的、精确的、凸出的、非平面的)接触结构,例如呈截棱锥形,以便此后更好地压接式电连接至电子元件的端子。本申请描述了细长的接触端头结构,其在使用时起到弹性接触元件的作用,因此不需要连接至弹性接触元件。总体上讲,本发明的目的是制造(预制备)较“精确”的接触端头结构(“端头”)并且将它们连接至较“不精确”的互连元件,以改进最终形成的“带端头的”互连元件的总体能力。
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“用于微电子互连元件的接触端头结构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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