本发明提供了一种NiMnX(X＝In、Ga、Sn，其中少量Ni元素可以由Co元素替代)合金靶材的制备方法。该方法将熔炼铸造法与
粉末冶金法相结合，首先利用熔炼铸造法制备Ni-Mn-X合金锭，以提高合金密度，并且提高合金纯度，然后将合金锭研磨成合金粉，以提高合金的熔点，最后利用粉末冶金法制备NiMnX合金靶材。与现有技术中单纯采用熔炼铸造法或粉末冶金法制备NiMnX靶材的方法相比，本发明利用了这两种方法的优点，同时有效避免了这两种方法的不足，能够制得具有晶粒小、不易开裂、成分均匀、杂质含量低的高性能合金靶材。
声明：
“NiMnX合金靶材的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
1144
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
