本发明提供了一种物理冶金
多晶硅太阳能电池的磷扩散方法，包括，1)将清洗制绒后的硅片进行第一恒温热处理；2)将经步骤1)处理后的硅片进行第二恒温热处理；3)将经步骤2)处理后的硅片进行氧化处理；4)向步骤3)处理后的硅片通磷源进行磷扩散处理；5)将经步骤4)处理后的硅片进行退火处理。本发明的扩散方法应用于物理冶金硅太阳电池制备中，可节约成本，提高产能，所形成的PN结，表面杂质浓度低，杂质分布均匀，扩散均匀性好，减小了死层效应，有利于电子的收集，降低了太阳能电池因复合造成的效率损失，从而提高了
电池片的最终光电转换效率。
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“物理冶金多晶硅太阳能电池的磷扩散方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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