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氮化-净化去除冶金硅中硼杂质的方法

1038   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 14:36:22
一种氮化‑净化去除冶金硅中硼杂质的方法,属于冶金材料领域。本发明向冶金级硅熔体中加入氮化剂,氮化剂的加入可将硅熔体中的硼杂质转化为氮化物颗粒,而后对氮化后的硅熔体施加电磁力将氮化物颗粒向硅熔体周围聚集,再将硅熔体和氮化物颗粒进行强制冷却并分离,并利用上述分离出的富含氮化物颗粒的多晶硅生产氮化硅;由于氮化物颗粒与硅熔体之间存在明显的导电率差异,因此在电磁力的作用下,氮化物颗粒会富集至熔体周围,从而实现硼杂质和硅熔体的有效分离;此外,将富含氮化物颗粒的多晶硅粉碎,加入氯化铵并在流动性N2气氛下氮化处理得到氮化硅产物;利用富含氮化物的多晶硅,实现资源的高效利用,提高技术经济性。
声明:
“氮化-净化去除冶金硅中硼杂质的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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