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靶材级高纯钽粉的制备方法

904   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 14:35:03
本发明涉及一种靶材级高纯钽粉的制备方法,该工艺采用将钠还原氟钽酸钾制得的钽粉与NaCl、KCl和KF中的一种或任意几种稀释盐的混合块状物料用纯水滤洗,当滤洗液的电导率小于5000us/cm时,将滤洗后的物料倒入卧式球磨机进行湿式球磨,之后取出物料进行酸洗、抽滤和烘干得到钽粉原粉,再将钽粉原粉经过热处理、降氧处理、降氧酸洗、再次烘干和检测得到靶材级高纯钽粉。本发明工艺简单,生产成本低,由该方法制备的钽粉松装密度大,纯度高,氧含量低,满足了靶材对材料纯度及致密度的要求,进而大大降低了钽及钽合金靶材成本。
声明:
“靶材级高纯钽粉的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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