本发明涉及一种高纯多孔硅制备的方法，属于高纯硅制备技术领域。本发明将硅原料粉碎细磨得到硅粉，利用金属辅助化学刻蚀法在超声外场条件下对硅粉进行刻蚀预处理，采用洗涤剂清洗掉硅粉表面的金属纳米颗粒，过滤分离、烘干得到多孔硅粉；将多孔硅粉置于RTP炉中进行快速热处理，得到热处理多孔硅粉；将热处理多孔硅粉置于酸液中，在温度10～80℃下搅拌浸出1～500min，过滤后经洗涤和烘干处理得到高纯多孔硅。本方法金属辅助化学刻蚀协同超声外场得到的多孔硅粉进行RTP热处理吸杂，使内部的杂质再次析出暴露，再通过酸液浸出得到高纯多孔硅。
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来源：北方有色网
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