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基于轴向磁场耦合机械振动制备太阳能级多晶硅的方法

898   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 14:34:21
一种基于轴向磁场耦合机械振动制备太阳能级多晶硅的方法,将冶金硅表面酸洗、蒸馏水清洗,干燥,装进高纯石英坩埚内,并放入定向凝固炉中,抽真空;将炉温升至1200~1350℃,保温;向炉腔充入惰性气体;将炉温升至1500~1650℃,保温;得到硅熔体;将硅熔体温度降至1420~1570℃;引入轴向磁场和机械振动到硅熔体中;将坩埚以1~20μm/s的速率抽拉出加热区,开始长晶;长晶结束后,关闭励磁系统和停止机械振动,将温度降至1000~1300℃;关闭加热系统,随炉冷却。本发明得到的多晶硅材料组织中硅晶粒粗大且垂直于坩埚底部,缺陷少,杂质含量低;工艺成本低、简单;安全可靠、无污染;操作方便。
声明:
“基于轴向磁场耦合机械振动制备太阳能级多晶硅的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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