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抬包精炼制备低磷硼多晶硅的方法

1075   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 14:34:17
本发明涉及一种抬包精炼制备低磷硼多晶硅的方法。其步骤为:1)将造渣剂装入中频炉石墨坩埚中加热熔化,得到渣夜,保温;2)在矿热炉出硅液过程中,向抬包底部持续通入空气和氧气的混合气体;3)待出硅液完成后,将中频炉石墨坩埚中的渣液倒入抬包中,同时往抬包里通入氧化性混合气体进行精炼;4)抬包精炼后,将硅渣一起倒入结晶器实现渣硅分离,得到提纯后的低磷硼多晶硅原料。本发明具备充分利用和节约能源、除磷硼效果好,环境无污染等特点。
声明:
“抬包精炼制备低磷硼多晶硅的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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