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用于多晶硅坩埚的熔融石英的提纯工艺

763   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 14:29:31
本发明属于熔融石英生产领域,具体公开了一种用于多晶硅坩埚的熔融石英的提纯工艺,包括(1)破碎、(2)冷淬、(3)碾压、(4)磁选除杂、(5)浮选、(6)超声除杂、(7)高温真空处理、(8)熔炼、(9)研磨、(10)分装这些步骤,本发明公开的提纯方法工艺简单,提纯效果显著,得到的高纯熔融石英可用于生产多晶硅的坩埚使用。
声明:
“用于多晶硅坩埚的熔融石英的提纯工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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