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湖北有色金属理论与应用

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核反应堆压力容器接管安全端出厂超声检查装置

本发明属于超声无损检测技术领域,具体涉及一种核反应堆压力容器接管安全端出厂超声检查装置。本装置包括吸盘拉伸支撑部件、前回转支撑部件,托盘部件、直线运动部件、圆周运动部件、后回转支撑部件、机架、档杆、吊装翻转机构以及限位机构;在前回转支撑部件与后回转支撑部件之间连接有圆周运动部件和直线运动部件,圆周运动部件安装在靠近后回转支撑部件一侧;在前回转支撑部件前端布置吸盘拉伸支撑部件,在后回转支撑部件的后端设置有机架,机架上布置上下档杆及吊装翻转机构,在上下档杆两端位置布置限位机构。

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无损检测
湖北 - 武汉 来源:北方有色网 2023-03-19
测定电工钢和铁芯的磁感的方法

本发明提供一种测定电工钢及铁芯的磁感的方法,该方法根据晶体学织构分析原理,采用首先用X-射线衍射技术测量测定被测件若干不同晶体学方向的轴密度ρuvw,然后以ρuvw为参数,在被测件有标样的情况下,根据公式 计算得到被测件外观方向的磁感应强度;在被测件没有标样的情况下,根据 公式计算得到被测件的相对磁感应强度。其中,n是测定的晶体学方向的数目,αuvw是被测件的晶体各向异性常数,Buvw是被测件的不同晶体学方向的磁感应强度。本发明提供了的测定方法,测量结果准确,属无损检测技术,可以在电工钢及其产品磁感检测领域推广应用。

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无损检测
湖北 - 武汉 来源:北方有色网 2023-03-19
小型带中心孔螺栓超声检验装置组合结构

本发明属于无损检测技术领域,具体涉及一种小型带中心孔螺栓超声检验装置组合结构。一种小型带中心孔螺栓超声检验装置组合结构,包括超声检测装置和超声检测清洗装置,满足反应堆压力容器螺栓中心孔扫查的检查要求。该扫查装置也可用于其它行业类似带中心孔的螺栓无损检测。本结构采用内表面检测探头模块化设计的方式,提高了检测的便利性和灵活性,并可根据体积检查的要求和内径的代大小更换检测探头进行深入探测;检测探头的电路、水路均封装在导管内部,提高了探头组件的可靠性和使用寿命;专用的耦合剂清洗装置,通过张紧塞将中心孔内的残留耦合剂进行去除,防止螺栓中心孔表面氧化;模块化的接口设计使得与检查装置连接便利,可靠。

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无损检测
湖北 - 武汉 来源:北方有色网 2023-03-19
基于可编程逻辑控制器的布袋除尘器检漏系统

本实用新型公开了一种基于可编程逻辑控制器的布袋除尘器检漏系统,它包括计算机和至少一个模拟量模块,还包括与每一布袋除尘器箱体匹配安装的静电感应粉尘浓度传感器和可编程逻辑控制器PLC,所述静电感应粉尘浓度传感器安装在布袋除尘器箱体的出口管道与总排气管之间,其通过单线无损信号传输线与模拟量模块的输入端相连接,模拟量模块的输出端通过排线与可编程逻辑控制器PLC的数据接口连接,可编程逻辑控制器PLC的通信端口通过屏蔽双芯通讯线与计算机连接。本实用新型结构简单、操作方便、能够提醒用户布袋除尘器滤袋是否已经穿漏,并且实现动态监测布袋除尘器的排放浓度。

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无损检测
湖北 - 武汉 来源:北方有色网 2023-03-19
真空吸盘式小管径管道内壁水浸超声检查装置

本实用新型属于压力容器特别是核反应堆压力容器的小管径管道的内部超声无损检测技术领域,具体涉及真空吸盘式小管径管道内壁水浸超声检查装置。周向套筒上安装有吊装头、周向套筒支架和周向电机,真空吸盘与周向套筒支架连接;周向芯轴位于周向套筒中,相对其旋转;周向芯轴前端安装有拉紧气缸、轴向电机的定子、导向轴的一端、齿圈,齿圈与周向电机上面的齿轮组成齿轮齿圈副;丝杠的一端与轴向电机的转子连接;中间支撑套筒上安装有中间支撑气缸和中间支撑支腿,中间支撑顶块与中间支撑气缸的活塞杆相连,中间支撑芯轴位于中间支撑套筒中。本实用新型能够从管道内壁进行检测,同时水浸式超声检测不受焊缝余高影响,能完成为管道焊缝的无损检测。

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无损检测
湖北 - 武汉 来源:北方有色网 2023-03-19
狭窄空间管道与容器焊缝检查工具

本发明属于狭窄空间管道与容器焊缝的自动化无损检测技术领域,具体涉及一种狭窄空间管道与容器焊缝检查工具。由以下部件组成:安装基板、轴向止挡、周向驱动组件、周向定位组件、探头组件、轴向驱动组件、磁轮组件、编码器、驱动电机;安装基板两端分别连接周向驱动组件和周向定位组件,中间连接轴向驱动组件;周向驱动组件由磁轮组件和驱动电机组成;在安装基板上方对应连接周向驱动组件和周向定位组件的位置设置两个轴向止挡;轴向驱动组件上设置滑块,可以沿轴向驱动组件轴向上下滑动,在滑块上设置实施焊缝自动检测的探头组件,探头组件沿被检查的容器/管道的轴向实施扫查。

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无损检测
湖北 - 武汉 来源:北方有色网 2023-03-19
压力容器接管内壁水浸超声检查装置

本发明属于小管径管道的内部超声无损检测技术领域,具体涉及一种压力容器接管内壁水浸超声检查装置。包括周向组件、轴向组件、前支撑组件、后支撑组件、探头组件、轴向限位组件、分线箱组件和分气块组件;周向组件与轴向组件的一端连接,前支撑组件与轴向组件的另一端连接,探头组件安装在轴向组件上,后支撑组件、轴向限位组件、分线箱组件和分气块组件安装在周向组件上;前支撑组件、后支撑组件支撑在被检管道内部;周向组件带动轴向组件及其上的探头组件沿周向运动;探头组件在轴向组件上沿轴向运动。本发明能够从管道内壁进行检测,同时水浸式超声检测不受焊缝余高影响,能完成为管道焊缝的无损检测。

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无损检测
湖北 - 武汉 来源:北方有色网 2023-03-19
蒸汽发生器氦质谱检漏系统

本实用新型属于蒸汽发生器传热管及类似换热设备的无损检测与维修技术领域,具体涉及一种蒸汽发生器氦质谱检漏系统与检漏方法,目的是为了解决高温气冷堆蒸汽发生器传热管实施无损检测难度大的问题。其特征在于:它包括吸枪定位装置、吸枪组件、流量控制系统、氦质谱检漏仪系统、物理数据测量系统、数据采集和分析系统;吸枪组件安装在吸枪定位装置上;吸枪定位装置安装在蒸发器水室上;流量控制系统与吸枪组件连接;氦质谱检漏仪系统与吸枪组件连接;物理数据测量系统分别与流量控制系统、氦质谱检漏仪系统、温度传感器、压力传感器、氦气浓度传感器连接;数据采集和分析系统分别与吸枪定位装置和物理数据测量系统连接。

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无损检测
湖北 - 武汉 来源:北方有色网 2023-03-19
核反应堆压力容器螺纹孔带自动超声检查设备

本发明属于核电站无损检测技术领域,具体是一种核反应堆压力容器螺纹孔带自动超声检查设备。包括:机架(2)、垂直支撑轮组件(7)、驱动轮组件(10)、编码器组件(11)、周向支撑轮组件(12)、周向顶紧轮组件(13);机架(2)水平设置,是所述核反应堆压力容器螺纹孔带自动超声检查设备的主体结构,用于承载各个功能组件;垂直支撑轮组件(7)包括多个垂直支撑轮,设置于机架(2)下方,将机架(2)支撑于压力容器。本发明应用于核反应堆压力容器螺纹孔带的内螺纹、螺栓孔与孔之间的联系带及压力容器筒体内侧螺栓孔联系带的自动超声检测,也可以用于其它领域压力容器法兰处的无损检测,或者对螺纹孔进行清洗等工作。

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无损检测
湖北 - 武汉 来源:北方有色网 2023-03-19
用于小管道的水浸超声检查定位驱动装置

本发明属于核电站无损检测技术,具体公开了一种用于小管道的水浸超声检查定位驱动装置,包括周向套筒、周向套筒内的周向芯轴、与周向芯轴连的轴向组件,周向套筒内设有啮合的周向主动齿轮和周向从动齿轮,周向从齿轮与所述的周向芯轴连接,轴向主动齿轮通过电机驱动;通过设计周向芯驱动前端的轴向组件转动,同时轴向组件自身通过锥齿轮副和直齿轮副的传配合,以及同步带的传送使得轴向滑块在导轨上轴向移动,从而能够对相关检测设备驱动定位。

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无损检测
湖北 - 武汉 来源:北方有色网 2023-03-19
控制棒驱动机构远程自动渗透检验装置及方法

本发明涉及核电站无损检测技术领域,具体公开了一种控制棒驱动机构远程自动渗透检验装置及方法。该装置中芯部定位套为圆柱筒体结构,其内壁上端具有台阶结构,使芯部定位套定位套在控制棒驱动机构的最大直径处;转盘通过轴承A安装在芯部定位套上,跨越式密封结构通过轴承B安装在转盘的外侧,并通过转盘上安装的周向运行驱动机构驱动转盘沿着芯部定位套转动;在转盘上设有渗透剂施敷模块以及监视摄像头及照明模块,通过渗透剂施敷模块可对控制棒驱动机构的下部Ω焊缝进行渗透剂施敷操作。本发明所述的一种控制棒驱动机构远程自动浸透检验装置及方法,其可以通渗透剂施敷模块对控制棒驱动机构下部Ω焊缝进行远程液体渗透的无损检测功能。

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无损检测
湖北 - 武汉 来源:北方有色网 2023-03-19
高温气冷堆传热管检查装置

本发明属于蒸汽发生器传热管及类似换热设备的无损检测与维修技术领域,具体涉及一种高温气冷堆传热管检查装置,目的是为了解决高温气冷堆蒸汽发生器传热管实施无损检测难度大的问题。其特征在于:它包括吸枪装置、导轨组件、回转机构和支腿机构;吸枪装置和导轨组件之间采用快换结构进行连接,吸枪组件快换结构,通过拨动快换结构的旋转卡盘可实现吸枪装置与导轨组件的快速锁紧,实现两者之间的快速连接,支腿安装机构采用可折叠的形式,便于工作人员搬运。

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无损检测
湖北 - 武汉 来源:北方有色网 2023-03-19
控制棒驱动机构远程自动渗透检验装置

本实用新型涉及核电站无损检测技术领域,具体公开了一种控制棒驱动机构远程自动渗透检验装置。该装置中芯部定位套为圆柱筒体结构,其内壁上端具有台阶结构,使芯部定位套定位套在控制棒驱动机构的最大直径处;转盘通过轴承A安装在芯部定位套上,跨越式密封结构通过轴承B安装在转盘的外侧,并通过转盘上安装的周向运行驱动机构驱动转盘沿着芯部定位套转动;在转盘上设有渗透剂施敷模块以及监视摄像头及照明模块,通过渗透剂施敷模块可对控制棒驱动机构的下部Ω焊缝进行渗透剂施敷操作。本实用新型所述的一种控制棒驱动机构远程自动浸透检验装置,其可以通渗透剂施敷模块对控制棒驱动机构下部Ω焊缝进行远程液体渗透的无损检测功能。

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无损检测
湖北 - 武汉 来源:北方有色网 2023-03-19
萃取膜及渗透汽化膜结构与性能的电化学检测方法

本发明公开了一种萃取膜及渗透汽化膜结构与性能的电化学检测方法,提出了一种无损、快速、简易的测试方法,解决了传统测试方法价格昂贵、周期较长等问题,为测量萃取膜、渗透汽化膜的选择层厚度和传质速率提供新的测试手段。

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无损检测
湖北 - 武汉 来源:北方有色网 2023-03-19
小直径导管X射线检测定位装置

本实用新型涉及小直径导管X射线检测定位装置,属于无损检测技术研究领域,该放置在透照场内,其特征在于,包括一块基体和连接在基体四周下部周边上的若干插杆,基体的表面大小完全覆盖射线源向各个方向的偏移距离,插杆的直径小于小直径导管的内径。本实用新型能准确的把握偏移距离,又能解决导管在90°方向摆放时容易倾倒的问题,同时减少了导管空心部位产生的散射线,提高了影像质量。

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无损检测
湖北 - 孝感 来源:北方有色网 2023-03-19
从油菜籽中检测蛋白质和氨基酸的方法

本发明公开了一种油菜籽中蛋白质及氨基酸的快速检测方法,其步骤是:A、将收获的油菜籽放入烘箱中烘干,湿度控制在103-108℃干燥,时间控制在3-5小时,然后冷却至室温;B、将冷却后的油菜籽放入近红外仪的样品盘中扫描近红外光谱,每次样品重复装样2-4次;C、将样品的2-4次测量光谱平均化计算其平均光谱;D、将样品的平均光谱代入模型中,计算出样品的粗蛋白和氨基酸的含量。方法易行,操作简便,样品前处理简单。对于油菜籽生产企业,将收获后的油菜籽在一定温度和时间快速测定。快速无损。近红外光谱的采集时间非常短,模型计算的时间基本可以忽略。多成分同时测量。可同时测量出油菜籽中粗蛋白和其他氨基酸的含量。

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无损检测
湖北 - 武汉 来源:北方有色网 2023-03-19
卧式蒸汽发生器传热管涡流检测用探头垂直推拔式装置

本发明属于核电站一回路系统无损检测技术领域,具体是一种卧式蒸汽发生器传热管涡流检测用探头垂直推拔式装置。包括:升降平台(15);在升降平台(15)上部,安装有卷线盘构成的探头回收装置,探头的线缆结构部分缠绕于此探头回收装置上;在升降平台(15)中部,安装有探头推拔机构,推拔机构包括“X”形的探头夹紧机构,“X”形探头夹紧机构由2个刚性臂交叉构成,1个刚性臂绕着交叉点转动,夹紧气缸(5)控制2个刚性臂的相对转动;在“X”探头夹紧机构形的4个顶端部分,分别安装有橡胶轮(1);在升降平台(16)下部,安装有导管(7),导管(7)由不锈钢管折弯而成。本发明采用双探头垂直布置方式,充分利用垂直方向上的空间。

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无损检测
湖北 - 武汉 来源:北方有色网 2023-03-19
核电站超声波检测软件视图动态切分及布局方法

本发明属于核工业超声波无损检测领域,用于多通道超声信号数据采集与处理软件,具体涉及一种核电站超声波检测软件视图动态切分及布局方法。目的是进行更方便的操作和数据分析。该方法包括建立窗口切分控件结构的步骤,切分控件包括用于超声声学成像的动态和静态A、B、C、D型成像8个子模块,窗口横向排列型子模块,窗口纵向排列型子模块及窗口布局数据结构子模块;还包括窗口动态切分建立与窗口动态删除的步骤。该方法简单、快捷的实现了软件界面视图的任意切分、自定义视图内容和视图布局等功能。

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无损检测
湖北 - 武汉 来源:北方有色网 2023-03-19
群体产地禽蛋表面脏污的在线视觉检测装置及其方法

本发明公开了一种群体产地禽蛋表面脏污的在线视觉检测装置及其方法,涉及禽蛋加工分级技术领域。本方法是:①禽蛋图像的采集;②禽蛋图像的预处理;③提取颜色特征参数,将禽蛋根据壳色分为青壳蛋和白壳蛋;④提取禽蛋表面脏污特征参数:脏污面积与整蛋面积的比值,脏污块数;⑤找出区分干净禽蛋和脏禽蛋的特征参数范围;⑥建立自动识别模型,判别禽蛋的脏污。本发明利用机器视觉进行检测,对应用环境具有不挑剔性,具有良好的推广应用前景;高效率、高智能,能够实现无损检测。

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无损检测
湖北 - 武汉 来源:北方有色网 2023-03-19
孵前种鸭蛋中受精蛋的光纤光谱分级检测装置及其方法

本发明公开孵前种鸭蛋中受精蛋的光纤光谱分级检测装置及其方法,包括:光室,光室的底部设有带孔传送带,带孔传送带上设有孔洞,孔洞用于放置孵前种鸭蛋;带孔传送带下方设有聚光透镜,聚光透镜通过石英光纤连接有卤素光源;光室内设有准直透镜和光电传感器,准直透镜与所述聚光透镜上下对应设置,准直透镜通过光纤连接有光纤光谱仪,光纤光谱仪连接有计算机;光电传感器连接有PLC控制器,PLC控制器与所述计算机相连;带孔传送带的一端连接有电机,带孔传送带的另一端连接有剔蛋装置。本发明能在孵化前实现对种鸭蛋中的受精蛋进行快速准确的无损检测。

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无损检测
湖北 - 武汉 来源:北方有色网 2023-03-19
激光加工检测装置及方法、激光加工设备及调焦控制方法

本申请提供一种激光加工检测装置及方法、激光加工设备及调焦控制方法,涉及激光加工技术领域,能够在对被加工件进行无损的精密加工时,对被加工件加工表面进行瞬态过程的高时间分辨能力的检测成像。包括第一激光束,通过第一偏振旋转器的激光束经第一合光镜透射后用于射向被加工件进行激光加工。第二超短脉宽激光束和第三超短脉宽激光束分别经衍射光栅后通过第二合光镜合束,并通过第二偏振旋转器后在第一合光镜与第一激光束合束入射被加工件,被加工件反射的合束激光束经过第一合光镜分离第一激光束后经第二偏振旋转器再由第二合光镜分束为第二超短脉宽激光束和第三超短脉宽激光束,分别入射接收器和经衍射光栅后入射接收器。

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无损检测
湖北 - 武汉 来源:北方有色网 2023-03-19
浮空器囊体漏点缺陷检测系统及方法

本发明属于航空航天相关技术领域,其公开了一种浮空器囊体漏点缺陷检测系统及方法,系统包括:空气压缩机,用于向浮空器囊体充气;压力表,用于检测浮空器囊体内的压力;音频激振器,用于产生预设频率和强度的音频信号以刺激所述浮空器囊体振动;应变片阵列,所述应变片阵列粘贴于浮空器囊体表面,用于采集所述浮空器囊体在振动状态下的应力波信号;应变仪,用于分别采集所述应变片阵列对应的多个应力波信号;计算机终端,用于基于所述缺陷诊断模型对每一应力波信号进行分析获取对应应变片处的缺陷状况。本申请可以利用应变片采集应力波信号实现对囊体缺陷的诊断及定位,无损、高效。

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无损检测
湖北 - 武汉 来源:北方有色网 2023-03-19
工件厚度超声波自动检测系统

本实用新型公开了一种工件厚度超声波自动检测系统,它的X轴本体固定在机架顶部的侧面,X轴滑块设置在X轴本体上且能在X轴电机的驱动下在X轴本体上沿X轴滑动,Y轴本体的一端固定在X轴滑块上,Y轴滑块设置在Y轴本体上且能在Y轴电机的驱动下在Y轴本体上沿Y轴滑动;耦合剂储存容器和耦合剂工作容器设置在机架内,泵用于将耦合剂储存容器内的耦合剂抽入耦合剂工作容器内,耦合剂工作容器内的耦合剂能通过水阀流回耦合剂储存容器;超声波探头安装在Y轴滑块上。本实用新型实现了工件厚度的无损测量。

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无损检测
湖北 - 武汉 来源:北方有色网 2023-03-19
用于蒸汽发生器传热管涡流检测的探头传动装置

本发明属于核电站蒸汽发生器传热管无损检测技术,具体公开一种用于蒸汽发生器传热管涡流检测的探头传动装置,包括主传动箱和旋转传动箱,主传动箱上设有第一主传动轴和第二主传动轴,旋转传动箱上设有第一旋转传动轴和第二旋转传动轴,上述四根传动轴成“X”型布置,并与传动轴通过齿轮啮合,该传动轴位于主传动箱和旋转传动箱内,传动轴上固定锥齿轮,锥齿轮连接驱动机构;传动轴带动主传动齿轮和旋转传动齿轮同时转动,因而带动主传动箱的主传动轴和旋转传动箱的旋转传动轴同时转动,且旋转传动箱同时能够相对于主传动箱整体转动,探头安装在传动轴上,实现了装置对传热管涡流信号的采集。

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无损检测
湖北 - 武汉 来源:北方有色网 2023-03-19
用于蒸汽发生器传热管涡流检测的探头驱动装置

本发明属于核电站蒸汽发生器传热管无损检测技术,具体公开一种用于蒸汽发生器传热管涡流检测的探头驱动装置,包括主传动箱和旋转传动箱,主传动箱上设有第一主传动轴和第二主传动轴,旋转传动箱上设有第一旋转传动轴和第二旋转传动轴,上述四根传动轴成“X”型布置,并与传动轴通过齿轮啮合,该传动轴位于主传动箱和旋转传动箱内,传动轴上固定锥齿轮,锥齿轮连接驱动机构;传动轴带动主传动齿轮和旋转传动齿轮同时转动,因而带动主传动箱的主传动轴和旋转传动箱的旋转传动轴同时转动,且旋转传动箱同时能够相对于主传动箱整体转动,探头安装在传动轴上,实现了装置对传热管涡流信号的采集。

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湖北 - 武汉 来源:北方有色网 2023-03-19
工件厚度超声波自动检测系统及方法

本发明公开了一种工件厚度超声波自动检测系统,它的X轴本体固定在机架顶部的侧面,X轴滑块设置在X轴本体上且能在X轴电机的驱动下在X轴本体上沿X轴滑动,Y轴本体的一端固定在X轴滑块上,Y轴滑块设置在Y轴本体上且能在Y轴电机的驱动下在Y轴本体上沿Y轴滑动;耦合剂储存容器和耦合剂工作容器设置在机架内,泵用于将耦合剂储存容器内的耦合剂抽入耦合剂工作容器内,耦合剂工作容器内的耦合剂能通过水阀流回耦合剂储存容器;超声波探头安装在Y轴滑块上。本发明实现了工件厚度的无损测量。

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湖北 - 武汉 来源:北方有色网 2023-03-19
种子特异性部位油脂含量检测方法及其QTL位点鉴定方法

本发明公开了一种种子特异性部位油脂含量检测方法及其QTL位点鉴定方法,属于作物遗传育种技术领域。本发明所述方法为利用核磁共振油脂三维无损定量成像技术对种子不同组织部位进行表型分型并获取表型数据。结合高密度的遗传连锁图谱和油料作物定位群体种子不同组织部位油脂含量表型数据进行QTL位点的扫描分析,并对种子特异性组织部位油脂含量进行QTL位点鉴定。本发明可以高效且大批量的检测油料作物种子的不同组织部位油脂含量并进行表型分型和油料作物种子不同组织部位的QTL位点,为后续利用种子内部组织部位较高油脂含量油料作物品系进行精准化基因聚合育种提供理论支持。

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湖北 - 武汉 来源:北方有色网 2023-03-19
检测动物肌肉组织中替米考星的前处理试剂盒及方法

本发明公开了一种检测动物肌肉组织中替米考星的前处理试剂盒及方法,试剂盒由盒体、试剂管A、试剂袋B、试剂管C、试剂瓶D、试剂瓶E、试剂袋F组成,盒体内分为a、b、c、d,a和b区为试剂管A和试剂管C放置的孔区,c区放试剂袋B和试剂袋F的凹槽,d区放试剂瓶D和试剂瓶E的凹槽;其步骤:A、取动物肌肉组织于离心管中,加入试剂,振荡;B、加入试剂,旋转蒸发至干;C、向鸡心瓶中加入试剂,将其转移至离心管中;D、再加入试剂溶液,振荡,置氮吹仪吹至干。E、剩余物用液体试剂混合溶液溶解,再加入正己烷,漩涡振荡,去除上层液体,下层液体经滤头过滤,UPLC测定。操作简单、快速,价格低廉,所用试剂对色谱柱无损害。

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湖北 - 武汉 来源:北方有色网 2023-03-19
反应堆压力容器接管检测装置

本发明属于核电站反应堆压力容器接管无损检测领域,具体涉及一种反应堆压力容器接管检测装置。现有技术主要是采取机械式定位,机械式中心定位装置在对中准确性、安装便捷、装置稳定性及水下状态调整等方面存在不足。本装置包括前支撑部件,扫查部件,后支撑部件,底座和支腿组件;前支撑部件和后支撑部件分别连接在横棒的两端,横棒上垂直固定连接扫查部件;底座为圆环状,前支撑部件和后支撑部件固定在底座圆环内。本装置中传感器结合支腿长度调节使设备能在在水下根据安装条件自动调整设备状态,以达到设备对中准确、安装便捷和稳定性高的效果。

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湖北 - 武汉 来源:北方有色网 2023-03-19
具有晶体结构检测及原位修复功能的装置

本发明公开了一种具有晶体结构检测及原位修复功能的装置,其采用连续激光对半导体薄膜材料的散射光谱进行激发和采集,能够快速、无损地判断半薄膜材料整体及局部区域的晶体质量,然后通过皮秒、飞秒等超短脉冲高能激光束对半导体薄膜材料中晶体质量较差的区域进行辐射,从而激发薄膜材料相应区域中的原子发生重构,最终实现对半导体薄膜材料检测区域晶体结构的原位修复。基于超短脉冲激光作用时间短、热影响范围小、能量密度高的特点,结合气氛及温压条件的控制,该装置能够快速且有针对性地实现大尺寸半导体薄膜材料表面晶格损伤的修复,提高其晶体质量,特别适用于掺杂半导体薄膜材料,能够有效提高其均匀性和晶体质量,优化薄膜的工艺性能。

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湖北 - 武汉 来源:北方有色网 2023-03-19
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