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有色金属技术理论与应用

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刀具形状测量装置
刀具形状测量装置 935     
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一种刀具形状测量装置,包括直线轴、底板、安装底座、精密旋转轴、光学镜头、CCD相机和二维调节平台,直线轴安装在底板上,所述的精密旋转轴安装在直线轴上,刀具被精密旋转轴夹住,所述的光学镜头和CCD相机位于刀具正上方,二维调节平台位于刀具的下方、通过安装底座固定在底板上。本发明确保了夹持刀具在测量过程中夹持牢靠、运动精度高的工作稳定性,相比于传动采用人工抓取刀具进行测量的原始方法,本发明可实现测量过程无人工干预,并始终确保针对同一个规格刀具夹持的接触力,确保测量过程对刀具自身无损伤,完全避免了人为因素导致测量精度难以提高的问题,为实现刀具形状自动化测量提供了方案。

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无损检测
江苏 - 苏州 来源:北方有色网 2023-03-19
基于声学特性的多功能在线测定仪

本实用新型涉及一种多功能在线测定仪,尤其是一种基于声学特性的多功能在线测定仪。包括超声测量装置与信号处理装置两部分,所述超声测量装置由杨氏模量模块、液体体积弹性模量模块、二元气体成分比例模块组成,每一模块又包括AD9833信号源、放大器a、射极跟随器、超声换能器a、超声换能器b、放大器b和测量物质,所述信号处理装置包括电平抬升和稳压电源a、DSP芯片、电平抬升和稳压电源b和控制面板。有益效果:将表征固液气三相性质的物理量的测量综合在一台仪器上,其功能符合一定生产生活需求;具有体积小、成本低、操作简单、易于维护等优点;超声法测量以无损测试方式实现三物理量的测量,且具有测量精度高、可实时测量气体等优点。

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无损检测
山东 - 青岛 来源:北方有色网 2023-03-19
半导体核辐射探测器及其制备方法和应用

本发明适用于核辐射探测技术领域,提供了一种半导体核辐射探测器及其制备方法和应用,该制备方法包括以下步骤:用溴甲醇溶液对CsPbBr3单晶衬底的表面进行化学腐蚀处理;用氢溴酸溶液对化学腐蚀处理后的衬底的其中一面进行钝化处理,形成钝化层;对钝化层的中央部分进行刻蚀处理,形成刻蚀区域;在刻蚀区域上依次沉积第一内层金属电极、第一中层金属电极和第一外层金属电极;以及在衬底远离刻蚀区域一面上依次沉积第二内层金属电极、第二中层金属电极和第二外层金属电极,得到半成品;将半成品置于保护气氛下进行退火处理,得到半导体核辐射探测器。该半导体核辐射探测器可进行室温探测和无损探测,其具有探测极限低,方便携带等优点。

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无损检测
江西 - 南昌 来源:北方有色网 2023-03-19
基于参考帧错位预测的雷达数据压缩方法

本发明公开了一种基于参考帧错位预测的雷达数据压缩方法,首先确定各原始帧数据相关性最强的最优参考帧,将最优参考帧进行帧内位置错位构造预测帧,将当前帧与其预测帧的差值数据做块自适应量化算法的压缩及解压,得到恢复的差值数据,再将参考帧数据错位编码的位置信息经哈夫曼无损编码后传送至解码端,然后将恢复的差值数据与预测帧相加得到重构的数据。本发明采用帧间相关性确定帧数据参考帧、帧间错位预测预测、分块自适应量化算法、哈夫曼编码、帧数据差分及重构技术,在保证一定计算量的前提下,实现了较高的峰值信噪比和数据重构度,具有帧间预测相关性强、差分过程量化误差小、重构数据恢复度高等特点。

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无损检测
陕西 - 西安 来源:北方有色网 2023-03-19
接触式石墨测温器
接触式石墨测温器 1233     
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本实用新型提供了一种接触式石墨测温器,包括防风护壳,其中,防风护壳的内部进一步设置有接触芯,接触芯自下而上依次设置有测温热电偶和定解热电偶,防风护壳为顶面开口的、内部中空的立方体,防风护壳与接触芯的底面设置有弧形槽,测温热电偶,定解热电偶与接触芯之间插合连接。接触芯上进一步设置有位置调节器与温度计算器,接触芯的高度大于20mm,测温热电偶与防风护壳的底部距离为1mm,定解热电偶与测温热电偶之间的距离为1mm。防风护壳,接触芯为石墨制品。本实用新型结构简单,使用方便,测温准确的,测温过程无损铜辊,本专利在空间的位置不随铜辊的转动而转动。

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无损检测
山东 - 青岛 来源:北方有色网 2023-03-19
基于超声导波的金属材料裂纹定量监测方法

本发明涉及设备结构健康监测领域,公开了一种基于超声导波的金属材料裂纹定量监测方法,包括步骤:利用特定形状的传感器网络,对金属材料进行激励试验获取不同条件下的监测信号;通过损伤的监测信号和无损伤时的基准信号,获取损伤指数值;通过损伤路径概率成像方法,构建金属材料的裂纹定量化评估模型;从金属材料的裂纹定量化评估模型的损伤区域的监测成像中,得到裂纹所在直线的斜率;设置特定阈值,对大于特定阈值的离散点的坐标值取平均,得到裂纹所经过点的坐标值;直线的斜率和裂纹所经过点的坐标值,得到裂纹所在直线的方程;直线与损伤成像图中损伤边界线的交点,得到裂纹的端点。本发明具有对小缺陷敏感、监测范围大等优点。

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无损检测
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
超声波测量蒸汽流量计

本发明公开了一种超声波测量蒸汽流量计,包括蒸汽运输管道、超声换能器、超声波发射处理电路、模拟开关、超声波接收处理电路、单片机、温度测量模块、压力测量模块、显示模块和无线通讯模块,所述蒸气运输管道两侧设有安装底座,每个安装底座上设有两组超声换能器,所述超能换能器和蒸气运输管道之间设有耦合剂,所述超声换能器为收发一体式结构,包括超声波发射电路、超声波信号源、超声波传感器,且四组超声换能器分别连接到模拟开关上,通过单片机控制模拟开关切换超声换能器的工作状态,本发明的有益效果为:无接触式测量,对被测蒸汽无阻力,无损害,能够可靠、稳定、准确地对蒸汽流量进行测量。

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无损检测
安徽 - 滁州 来源:北方有色网 2023-03-19
测试夹具
测试夹具 1009     
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本实用新型涉及半导体激光器芯片生产加工领域,具体公开了一种测试夹具,包括载台、盖板、挡板、滑轨、压块和绝缘软垫,待测试芯片置于盖板上,一侧与挡板接触,实现限位,盖板和挡板与载台固定连接;待测试芯片的上方设有压块,压块置于滑轨内并可上下活动,压块的下端设有绝缘软垫,绝缘软垫在与待测试芯片上电极接触的部位设有第一导电膜,盖板与待测试芯片的下电极接触的部位设有第二导电膜,第一导电膜和第二导电膜分别通过导线与测试仪连接。本实用新型还包括压紧机构,通过螺栓调节压力,第一导电膜与绝缘软垫之间设有压力传感器,通过压力传感器的读值调节测试压力。本装置不需频繁更换测试探针,提高测试效率,对测试芯片电极无损伤。

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无损检测
河北 - 石家庄 来源:北方有色网 2023-03-19
基于温度场的DED过程硬度预测方法及装置

本发明提供一种基于温度场的DED过程硬度预测方法及装置,能够预测整个待测零件的硬度分布情况。所述方法包括:针对DED工艺打印过程暴露周期内热量周期变化的特点,确定温度场关键温度特征;在DED成型过程中,根据确定的温度场关键温度特征,获取待测零件的部分采样点的温度场数据;根据待测零件的形状,建立三维坐标系;根据温度场数据的关键温度特征在待测零件三个维度方向上的温度变化规律,从三个维度进行零件硬度预测,得到整个待测零件的硬度分布情况。本发明涉及无损监测领域。

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无损检测
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
反射腔式差动共焦超大曲率半径测量方法

本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种反射腔式差动共焦超大曲率半径测量方法。该方法通过差动共焦定焦原理配合平行平晶精确定位被测表面的焦点位置,进而实现超大曲率半径的高精度测量。本发明提出差动共焦定焦原理与反射腔式折叠光路原理相结合的方法,具有被测件移动距离小、测量精度高、测量速度快、抗环境干扰能力强、对被测表面无损伤等优点,可用于超大曲率半径的高精度非接触测量。

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无损检测
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
在线测厚仪
在线测厚仪 901     
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本实用新型涉及在线测厚仪,包括测定机构、显示机构和控制装置,测定机构包括支架、杠杆、活动套、固定轴、连接在支架上的支撑座,支架、杠杆通过丝杠连接活动套,固定轴穿过活动套;控制装置包括传感器、信号放大器,传感器固定在支撑座上;显示机构包括信号放大器上的液晶显示屏及记录仪。本实用新型的有益效果是:使用传感器测量无污染无损害,不需动力,结构简单,安全可靠,占用空间小,安装方便,操作灵活简便,外型美观,在线数据测定及时有效,解决了事后控制滞后带来的损失问题,造价低,实用性强。

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无损检测
山东 - 淄博 来源:北方有色网 2023-03-19
钢丝绳张力在线测试装置

本实用新型涉及一种钢丝绳张力在线测试装置。在测试过程中将钢丝绳置于压柱上,钢丝绳的两端卡于挂钩和支架上,挂钩长度可调,从而易于卡住钢丝绳,压柱带有螺纹固定在传感器上,将钢丝绳压力传递到传感器,传感器的下端用螺丝固定于支架上,支架一端连接挂钩。该装置结构将钢丝绳张紧力转换为垂直方向的压力,压力由传感器转换为电信号传送到信号处理电路做进一步处理。本实用新型在现场钢丝绳不拆卸的条件下通过测量压力推测其张紧力,具有实时测试、显示、记录、保存钢丝绳静态、动态参数,并通过RS232或USB口向计算机传送数据的功能。仪器操作方便,数据准确,自带电源,且对钢丝绳无损伤。

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无损检测
安徽 - 合肥 来源:北方有色网 2023-03-19
非绝热材料内部缺陷埋深的探测方法及系统

本发明提供一种非绝热材料内部缺陷埋深的探测方法及系统,该方法包括:采集和保存非绝热材料表面的红外热图像;分析非绝热材料表面温度场,识别内部缺陷在材料表面所对应的位置;提取缺陷区域表面温度值T1和无缺陷区域表面温度值T2,获取不同时刻t下的温差ΔT=T1‑T2;求解各时刻不同温差所对应的缺陷埋深的计算值;分析最佳时间,获取最终确定的缺陷埋深。本申请提供的非绝热材料内部缺陷埋深的探测方法,实现对非绝热材料内部缺陷的无损、快速、非接触、无磁、便捷的探测,一方面其探测深度更深,另一方面其受被测材料属性的影响较小,可以适用于各类岩体、金属或混凝土内部的分层、孔洞或裂隙等缺陷的埋深探测。

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无损检测
陕西 - 西安 来源:北方有色网 2023-03-19
基于光散射的高反射率水果表面蜡含量的测量系统及方法

本发明提供一种基于光散射的高反射率水果表面蜡含量的测量系统及方法,包括信号源模块、载物台模块,以及依次连接的光电转换模块、前置放大电路模块、AD转换模块、微控制器模块;所述信号源模块用以向放置于载物台模块上的待测水果发射光信号;所述光电转换模块用以接收待测水果散射光信号,并将光信号转换为电信号;所述前置放大电路模块用以放大所述光电转换模块输出的电信号;所述AD转换模块用以将所述前置放大电路模块输出的模拟电信号转换为数字电信号;所述微控制器模块用以根据所述AD转换模块输出的数字电信号计算出待测水果表面蜡含量。本发明系统成本低、测量速度快,同时消耗样品数量少,是一种无损快速的测量新方法。

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无损检测
江苏 - 南京 来源:北方有色网 2023-03-19
碳化硅基底上的石墨烯的层数测量方法

本发明涉及一种碳化硅基底上的石墨烯的层数测量方法。本发明属于光谱分析技术领域。碳化硅基底上的石墨烯的层数测量方法,工艺步骤:(1)利用热解外延法在碳化硅的硅面生长出具有厚度层数的石墨烯样品;(2)利用X射线光电子能谱对样品进行测量;(3)利用扫描到的XPS能谱,计算284.5eV处C-C键中的C1s电子的衍射光子积分强度,以及282.9eV处Si-C键中的C1s电子的衍射光子积分强度;(4)将衍射光子积分强度带入到衍射光子积分强度与石墨烯厚度的函数关系式中,求出样品的石墨烯厚度;(5)将石墨烯厚度与石墨烯的原子层间距作比,得到样品石墨烯的层数。本发明具有快速、准确测量,无需将石墨烯从基底上剥离,无损测量,方便器件加工和性能测试等优点。

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无损检测
天津 - 天津 来源:北方有色网 2023-03-19
测量DKDP晶体氘含量均匀性的方法

本发明公开了一种测量DKDP晶体氘含量均匀性的方法。本发明利用ν1模拉曼频移作为表征DKDP晶体氘含量的参量,通过显微共聚焦拉曼光谱测量系统测量DKDP晶体不同位置ν1模的拉曼频移获得该晶体氘含量的空间分布,进而可以对其氘含量均匀性进行评估,该测量方法操作简便,降低了仪器测量误差、DKDP晶体表面氘含量衰减、数据处理误差及周围环境等因素的影响,实现了DKDP晶体氘含量均匀性的在线无损测量。

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无损检测
四川 - 绵阳 来源:北方有色网 2023-03-19
基于莫尔条纹的球面镜曲率半径测量方法

本发明公开了一种基于莫尔条纹的球面镜曲率半径测量方法,使用待测球面与参考平面干涉产生的干涉条纹与基于计算机仿真的已知曲率半径的球面与平面干涉产生的干涉条纹叠加,通过频域低通滤波,将携带两幅干涉图差频信息的莫尔条纹提出,携带差频信息的莫尔条纹可视为待测球面与计算机仿真的已知曲率半径的球面干涉产生的干涉图。通过莫尔条纹和计算机仿真球面的曲率半径将待测球面的曲率半径算出。本发明采用非接触式的测量方法避免了对球面镜表面的损坏,为大曲率半径球面镜曲率半径的无损伤测量提供了可行的方法。

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无损检测
江苏 - 南京 来源:北方有色网 2023-03-19
基于陶瓷载片的芯片测试方法

本发明公开了一种基于陶瓷载片的芯片测试方法,采用陶瓷载片,尺寸与裸芯片包含键合区的贴装应用尺寸一致,陶瓷载片设置焊接焊盘,将裸芯片贴装于陶瓷载片,陶瓷载片设置表贴焊盘,将陶瓷载片固定于电路板,将裸芯片的信号连接到陶瓷载片,将陶瓷载片和电路板电气连接,根据陶瓷载片的管脚定义,按常规方案设计测试夹具,与测试系统相连,将裸芯片和陶瓷载片作为整体,不接触裸芯片,测试陶瓷载片的电气性能,测试夹具设计方便,便于裸芯片的周转,对裸芯片表面无损伤,能够完成对裸芯片所有功能和性能的测试,进行老化筛选考核,早期剔除问题芯片,完成对裸芯片的可靠性评价。

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无损检测
江苏 - 南京 来源:北方有色网 2023-03-19
基于扫频微波穿透法的谷物含水率测量装置

本发明公开了一种基于扫频微波穿透法的谷物含水率测量装置,包括微波发射端、微波接收端、天线升降平台和控制单元;微波发射端和微波接收端分别滑动设置在天线升降平台的下半空间和上半空间;控制单元根据激光对准传感器的信号和微波信号的衰减偏差移动微波天线完成微波天线的自动对准;综合考虑天线远场条件、含水率测量结果代表性和减小微波空间传输损耗三个条件确定并调整至最佳的测量距离和天线间距离;利用优化的微波扫频信号代替单一频率的信号作为含水率测量装置的测量信号,在抑制多重反射影响的同时更加全面的获得谷物水分信息,利用机器学习算法训练出的模型对谷物的含水率进行快速无损的高精度测量。

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无损检测
浙江 - 杭州 来源:北方有色网 2023-03-19
多孔low k材料孔隙率的测试方法

本发明公开了一种多孔low?k材料孔隙率的测试方法,通过在二片晶圆上以是否通入致孔剂作为区别条件,分别沉积无孔low?k介质层和多孔low?k介质层,并将计算得到的无孔low?k介质层的密度作为采用质量体积法测量孔隙率时的理想状态下致密无孔low?k介质的真密度,以相对法得到多孔low?k介质层的孔隙率,从而实现对多孔low?k介质层孔隙率的无损测试,消除了现有的质量体积法测量孔隙率时需要破坏样品、步骤复杂及容易失准的缺陷,因此,本发明的测试方法具有操作简单易行、成本低的特点,同时保证了测试的准确性。

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无损检测
上海 - 上海 来源:北方有色网 2023-03-19
基于超声波的空气箔片轴承气膜厚度测量系统及方法

本发明涉及空气轴承技术领域,公开了一种基于超声波的空气箔片轴承气膜厚度测量系统及方法,包括电涡流位移传感器、超声波发射接收装置、水凝胶层和信号处理设备,对空气箔片轴承气膜厚度进行实时无损监测。所述电涡流位移传感器测得转子两个垂直方向的位移,计算得出转子的轴心轨迹;所述超声波发射接收装置发射并接收由所述水凝胶层反射的超声波信号,并向所述信号处理设备传输数据;所述信号处理设备分析并存储信号数据,获得空气箔片轴承支撑层测量点的弹性形变量;根据转子轴心轨迹、支撑层测量点的弹性变形量,得到测量点的气膜厚度。本发明通过引入超声波测量,结合水凝胶和空气箔片轴承,实现对空气箔片轴承气膜厚度的非介入式测量。

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无损检测
湖南 - 长沙 来源:北方有色网 2023-03-19
不同植株氮含量水平下小麦植株含水率的监测方法

本发明属于作物生长监测领域,公开了一种不同植株氮含量水平下小麦植株含水率的监测方法,将小麦冠层叶片反射光谱数据与PWC数据相结合,按照不同PNC大小水平分类,确定不同PNC水平下的核心波段共性区域,构建基于核心波段共性区域的最优光谱指数,建立基于最优光谱指数通用的小麦植株含水率的监测模型。本发明充分考虑了低、中、高不同氮素营养条件对PWC监测的影响,所选最优光谱指数适用于多类氮素营养下的小麦PWC高光谱监测,可以快速、无损、精准的估测不同水氮条件下的小麦PWC。该发明将对精确农业中不同氮素营养条件下的小麦植株水分含量的高光谱监测提供重要技术支撑。

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无损检测
江苏 - 南京 来源:北方有色网 2023-03-19
混凝土中GFRP筋的长期性能监测方法

本发明公开了一种混凝土中GFRP筋的长期性能监测方法。是一种用于混凝土构件中GFRP筋的拉伸强度的实时预测、以及混凝土中GFRP筋安全服役期限的预测方法。本方法需要在GFRP筋混凝土构件中的相关位置预埋电极、导线并使其与恒电位仪相连,进而测量并记录相关位置混凝土的电阻值,再进行数据处理,整个过程可以实现对GFRP筋混凝土构件中GFRP筋的耐久性能进行无损的实时监测,同时通过混凝土电阻率与混凝土中GFRP筋的退化对应关系的标定试验的结果进行GFRP筋的性能退化的量化。另本方法也可用于GFRP筋混凝土结构的寿命预测。本发明能够简单有效地监测GFRP筋的性能。

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无损检测
黑龙江 - 哈尔滨 来源:北方有色网 2023-03-19
晶圆铜膜厚度在线测量模块控制系统

本发明公开一种晶圆铜膜厚度在线测量模块控制系统,采用上层控制系统和底层控制系统的两级控制模式,两层控制系统之间通过工业以太网实现物理连接。其中,底层控制系统利用可编程逻辑控制器PLC,负责直接控制化学机械抛光单元的在线测量模块,并建立专用的存储区临时存储测量模块在工艺过程中采集到的数据。上层控制系统采用工控机IPC,通过底层控制系统监控在线测量模块的运行,并利用OPC技术主动读取底层存储区中的数据,完成数据的处理,为工艺人员提供操作软件。基于工艺需求,本发明的控制系统设置了标定和测量两种模式,并可分组存储多个标定表以消除不同工艺配方对测量结果的影响。本发明具有无损测试、操作简单、便于维护、良好的可扩展性以及安全可靠的优点。

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无损检测
北京 - 北京 来源:北方有色网 2023-03-19
基于冠层多光谱的烤烟地上鲜生物量测定方法

一种基于冠层多光谱的烤烟地上鲜生物量测定方法,其特征在于:采用多光谱辐射计对团棵期到现蕾前期的烤烟冠层光谱进行测定,构建植被指数,利用统计学方法建立利用冠层光谱参数反演烤烟地上鲜生物量的模型,测定待测样本的冠层光谱参数,输入模型,进而实现对烤烟地上鲜生物量的测定。本方法与技术背景相比有以下优势:1.原位测定,不需要取样,对烟株无损伤;2.与高光谱辐射计相比有较大的成本优势,更适用于农业生产;3.只需获得550nm和1050nm两通道的数据就可以完成测定,数据处理方法和过程简便。

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无损检测
河南 - 郑州 来源:北方有色网 2023-03-19
半透明介质材料光热特性测量系统与方法

本发明公开了一种半透明介质材料光热特性测量系统与方法,所述测量系统由计算机、二维移动台、支架、小离轴抛物镜、准直镜、光纤、半导体激光器、大离轴抛物镜、电源线、激光器电源、HCT热探测器、BNC数据线、前置放大器、激光器控制线、锁相放大器、锁相放大器控制线、数据采集信号线构成,所述测量方法基于光热辐射测量原理,采用计算机控制函数发生器产生调制信号,信号控制激光器使其光强按调制规律变化,调制变化的激光照射到样件后由于存在光热效应,样件出现温度涨落与红外辐射,光热辐射信号与样件光热特性参数相关,信号被HCT热探测器接收,进而通过数学运算提取样件光热特性参数。本发明可以实现材料完全无损伤、非接触、高效测量。

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无损检测
黑龙江 - 哈尔滨 来源:北方有色网 2023-03-19
冰厚水深综合探测雷达系统及方法

本发明公开了一种冰厚水深综合探测雷达系统及方法,涉及探测雷达领域。所述系统包括:探测雷达和安装冰厚水深综合探测雷达应用程序的终端主机,所述探测雷达包括雷达主控板和脉冲信号收发机。所述方法:设置需探测采集参数,并发送给雷达主控板;向目标测试区的冰层和水下发射两个频率不同雷达波,接收回波信号;等效数据采样,终端主机对转化成差分信号的完整周期信号发送给终端主机依次进行分析处理、滤波处理和增益处理,得到处理后的雷达回波信号数据;显示冰厚和水深。本发明快速、无损、连续探测,以实时成像方式显示冰层和水深结构剖面,同时提供实时语音播报,使探测结果一目了然,分析、判读直观方便。

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无损检测
辽宁 - 大连 来源:北方有色网 2023-03-19
继电器测试支架
继电器测试支架 792     
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本实用新型涉及一种继电器测试支架,待测试的继电器安装在测试支架上,测试支架将待测试的继电器辅助定位在测试插座上,所述测试支架包括对称设置的左右侧板、将左右侧板的上部相互连接的上连接板、将左右侧板的下部相互连接的横杆,在所述左右侧板之间设置容纳待测试继电器的空腔,在所述左右侧板上对称地分别设置销孔用于与测试插座上的销柱形成转动配合,所述横杆设置在待测试的继电器的底部,在所述连接板上还设置了将测试支架绕销柱转动的扳手。本实用新型插拔出继电器方便、无损。

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无损检测
浙江 - 温州 来源:北方有色网 2023-03-19
基于元学习的小样本时序预测方法及系统

本发明公开了一种基于元学习的小样本时序预测方法及系统,属于时序预测技术领域,所述基于元学习的小样本时序预测方法包括元训练阶段和元预测阶段,所述元训练阶段通过快速跨任务训练泛化可迁移使用的元知识,所述元预测阶段用于针对目标任务微调预测模型,提出利用基于元学习的训练机制通过跨任务训练获得有效且可迁移使用的元知识,提高模型的敏感性,以期模型在目标任务上可以快速收敛,并在预测阶段有好的预测性能,具有有效性、高敏感性、无损模型以及强鲁棒性的优点。

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无损检测
吉林 - 长春 来源:北方有色网 2023-03-19
环栅器件制备的测试方法与系统

本发明提供了一种环栅器件制备的测试方法与系统,其中,将拉曼测试装置引入到环栅器件制备的工艺环节,进而,能够在生长外延层后、刻蚀鳍片后、源漏外延(且伪栅极被去除)、释放牺牲层后、HKMG包裹沟道后、后等至少之一时间点对沟道对应位置的应力进行测试,在此基础上,测试结果可反应出沟道对应位置应力随制备工艺环节的变化。其中,由于拉曼测试装置的测试光的光斑面积较小,进而,可在测试中表征出较小尺寸的结构应力,同时,该过程中,也不会对样品表面产生损伤。可见,本发明能够在无损的情况下准确对各工艺环节下沟道对应位置的应力进行测试与表征,为制备工艺的进一步分析与改进提供准确、充分的依据。

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无损检测
上海 - 上海 来源:北方有色网 2023-03-19
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