基础金属	铜电解铜铜精矿铜管铜棒废铜铜排铜合金精铜杆再生铜杆铜板带铝铝土矿氧化铝电解铝铝辅料铝棒铝合金锭废铝铝杆铝型材铝板卷铅铅精矿铅锭铅蓄电池再生精铅还原铅废铅蓄电池铅合金锌锌精矿电解锌锌合金氧化锌锌粉锡锡精矿锡锭锡材镁兰炭硅铁镁锭
稀有金属	稀土稀土矿稀土氧化物稀土金属钕铁硼稀散金属锑铋铟锗镓硒钽铌贵金属白银钨钨精矿 APT(仲钨酸铵)钨粉碳化钨钨酸钠钨条钨铁钨材钼钼精矿工业氧化钼钼铁钼化工高纯三氧化钼钼金属钛钛精矿钛渣四氯化钛海绵钛钛金属钛白粉
新能源	锂锂矿锂化合物金属锂镍镍矿镍铁精炼镍镍盐高冰镍 MHP 钴电解钴钴粉氯化钴四氧化三钴硫酸钴钴中间品氧化钴碳酸钴钴酸锂锰锰矿电解锰电池级硫酸锰锂电池三元前驱体隔膜磷酸铁电解液正极材料电芯石油焦针状焦包覆沥青人造石墨硅碳负极硅氧负极硅硅石有机硅硅粉三氯氢硅工业硅再生硅光伏多晶硅硅片电池片组件组件成本指数海外组件废旧组件

基础金属

铜电解铜铜精矿铜管铜棒废铜铜排铜合金精铜杆再生铜杆铜板带铝铝土矿氧化铝电解铝铝辅料铝棒铝合金锭废铝铝杆铝型材铝板卷铅铅精矿铅锭铅蓄电池再生精铅还原铅废铅蓄电池铅合金锌锌精矿电解锌锌合金氧化锌锌粉锡锡精矿锡锭锡材镁兰炭硅铁镁锭

稀有金属

稀土稀土矿稀土氧化物稀土金属钕铁硼 稀散金属锑铋铟锗镓硒钽铌 贵金属白银钨钨精矿 APT(仲钨酸铵)钨粉碳化钨钨酸钠钨条钨铁钨材钼钼精矿工业氧化钼钼铁钼化工高纯三氧化钼钼金属钛钛精矿钛渣四氯化钛海绵钛钛金属钛白粉

新能源

锂锂矿锂化合物金属锂镍镍矿镍铁精炼镍镍盐高冰镍 MHP 钴电解钴钴粉氯化钴四氧化三钴硫酸钴钴中间品氧化钴碳酸钴钴酸锂锰锰矿电解锰电池级硫酸锰 锂电池三元前驱体隔膜磷酸铁电解液正极材料电芯石油焦针状焦包覆沥青人造石墨硅碳负极硅氧负极硅硅石有机硅硅粉三氯氢硅工业硅再生硅光伏多晶硅硅片电池片组件组件成本指数海外组件废旧组件

Candela CS920表面缺陷检测仪

2595

规格/型号：Candela CS920

品牌：暂无

应用领域：暂无

产地：上海 - 上海

厂家/供应商：上海纳腾仪器有限公司

咨询电话:：暂无（请说明信息源自“北方有色网”）

更新时间：2023-06-09

级别：已认证

Candela CS920表面缺陷检测仪说明介绍

简介 KLA Candela光学表面缺陷分析仪（OSA）可对半导体及光电子材料进行先进的表面检测。Candela系列既能够检测Si、砷化镓、磷化铟等不透明基板，又能对SiC、GaN、蓝宝石和玻璃等透明材料进行检测，成为其制程中品质管理及良率改善的有力工具。 Candela系列采用光学表面分析（OSA）专用技术，可同时测量散射强度、形状变化、表面反射率和相位转移，为特征缺陷（DOI）进行自动侦测与分类。OSA检测技术结合散射测量、椭圆偏光、反射测量与光学形状分析等基本原理，以非破环性方式对Wafer表面的残留异物，表面与表面下缺陷，形状变化和薄膜厚度 技术参数

主要功能

1. 缺陷检测与分类

2. 缺陷分析

3. 薄膜厚度测量

4. 表面粗糙度测量

5. 薄膜应力检测

技术特点

1. 单次扫描中结合四种光学检测方法的单机解决方案，可实现高效的自动化缺陷检测与分离；

2. 对LED材料的缺陷进行自动检测，从而增强衬底的质量管控，迅速确定造成缺陷的根本原因并改进MOCVD品质管控能力；

3. 满足多种工业要求，包括高亮度发光二较为管（HBLED），高功率射频电子器件，透明玻璃基板等技术；

4. 在多个半导体材料系统中能更灵敏的检测影响产品良率的缺陷。

5. 自动缺陷分类功能(Auto Defect Classification)

(Particle, Scratch, Pit, Bump, and Stain Detection)

6. 自动生成缺陷mapping。

技术能力

1. 检测缺陷尺寸>0.3μm；

2. 大样品尺寸：8 inch Wafer；

3. 超过30种DOI的缺陷分类。

应用案例

1. 透明/非透明材质表面缺陷检测

2. MOCVD外延生长成膜缺陷管控

3. PR膜厚均一性评价

4. Clean制程清洗效果评价

5. Wafer在CMP后表面缺陷分析

咨询底价

标签：

Candela 表面缺陷 表面检测 缺陷分析

上一个：原位纳米压痕仪下一个：电解测厚仪CTM208

与“Candela CS920表面缺陷检测仪”相关的产品

上海纳腾仪器有限公司

企业认证：

所属领域：

材料,检测,其他

企业性质：

服务型

经营范围：

营范围包括分析仪器及配件、教学仪器及配件研发、生产（除计量器具）、销售；家用电器、电子产品、日用百货、办公用品、机械设备、计算机及配件、化工原料及产品（除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品）批发零售；纳米、医疗、化学、生物专业领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务（不得从事诊疗活动、心理咨询）；从事货物及技术的进出口业务。

联系电话：

13501903943

详细地址：

上海市徐汇区零陵路599号

进入店铺