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Candela CS920表面缺陷检测仪

2592

规格/型号：Candela CS920

品牌：暂无

应用领域：暂无

产地：上海 - 上海

厂家/供应商：上海纳腾仪器有限公司

咨询电话:：暂无（请说明信息源自“北方有色网”）

更新时间：2023-06-09

级别：已认证

Candela CS920表面缺陷检测仪说明介绍

简介 KLA Candela光学表面缺陷分析仪（OSA）可对半导体及光电子材料进行先进的表面检测。Candela系列既能够检测Si、砷化镓、磷化铟等不透明基板，又能对SiC、GaN、蓝宝石和玻璃等透明材料进行检测，成为其制程中品质管理及良率改善的有力工具。 Candela系列采用光学表面分析（OSA）专用技术，可同时测量散射强度、形状变化、表面反射率和相位转移，为特征缺陷（DOI）进行自动侦测与分类。OSA检测技术结合散射测量、椭圆偏光、反射测量与光学形状分析等基本原理，以非破环性方式对Wafer表面的残留异物，表面与表面下缺陷，形状变化和薄膜厚度 技术参数

主要功能

1. 缺陷检测与分类

2. 缺陷分析

3. 薄膜厚度测量

4. 表面粗糙度测量

5. 薄膜应力检测

技术特点

1. 单次扫描中结合四种光学检测方法的单机解决方案，可实现高效的自动化缺陷检测与分离；

2. 对LED材料的缺陷进行自动检测，从而增强衬底的质量管控，迅速确定造成缺陷的根本原因并改进MOCVD品质管控能力；

3. 满足多种工业要求，包括高亮度发光二较为管（HBLED），高功率射频电子器件，透明玻璃基板等技术；

4. 在多个半导体材料系统中能更灵敏的检测影响产品良率的缺陷。

5. 自动缺陷分类功能(Auto Defect Classification)

(Particle, Scratch, Pit, Bump, and Stain Detection)

6. 自动生成缺陷mapping。

技术能力

1. 检测缺陷尺寸>0.3μm；

2. 大样品尺寸：8 inch Wafer；

3. 超过30种DOI的缺陷分类。

应用案例

1. 透明/非透明材质表面缺陷检测

2. MOCVD外延生长成膜缺陷管控

3. PR膜厚均一性评价

4. Clean制程清洗效果评价

5. Wafer在CMP后表面缺陷分析

咨询底价

标签：

Candela 表面缺陷 表面检测 缺陷分析

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上海纳腾仪器有限公司

企业认证：

所属领域：

材料,检测,其他

企业性质：

服务型

经营范围：

营范围包括分析仪器及配件、教学仪器及配件研发、生产（除计量器具）、销售；家用电器、电子产品、日用百货、办公用品、机械设备、计算机及配件、化工原料及产品（除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品）批发零售；纳米、医疗、化学、生物专业领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务（不得从事诊疗活动、心理咨询）；从事货物及技术的进出口业务。

联系电话：

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