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明暗场微分干涉粒子测量显微镜

明暗场微分干涉粒子测量显微镜

浏览量 269
规格/型号:MS
品牌:益嘉
应用领域:分析检测
产地:广东 - 东莞
厂家/供应商:东莞市益嘉仪器有限公司
咨询电话::18613048344(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2025-08-18
级别:待认证

明暗场微分干涉粒子测量显微镜说明介绍

益嘉


工作原理

MS显微镜基于微分干涉(DIC)与明暗场照明技术,通过渥拉斯顿棱镜将入射光分为两束振动方向垂直的偏振光,经样品表面微小高度差后产生相位差,形成具有立体感的浮雕图像,显著提升低对比度结构的可见性。明暗场模式下,环形照明与斜射光路可捕捉样品表面划痕、杂质点等细微缺陷,结合电动载物台与高精度调焦系统,支持多视场拼接与三维形貌重建。



应用范围

该显微镜覆盖多领域检测需求:在半导体行业,可用于晶圆表面导电粒子压痕爆破检查、芯片键合线高度测量及微小缺陷筛查;电子制造领域支持PCB板焊点虚焊动态监测、SMT元件引脚共面性检测及显示屏模组粒子污染分析;材料科学中可分析金属晶界形态、陶瓷材料孔隙分布及高分子材料相分离结构,满足科研机构对微观结构的高精度观测需求。



技术参数


光学系统:无限远校正光学系统,支持50X-1000X连续变倍

物镜配置:配备10X、20X、50X、100X微分干涉半复消色差物镜,数值孔径(NA)达1.3

照明系统:LED环形光源(上下双光源独立控制),色温5000K±200K,支持明暗场/斜照明/偏光模式切换

载物台:电动XYZ平台(行程100mm×100mm×50mm),重复定位精度±0.1μm

成像模块:4K CMOS传感器(分辨率3840×2160),帧率60fps@1080P

测量功能:内置粒子计数、面积/周长测量及三维形貌分析模块,精度±0.5μm


产品特点


多模式智能观测:集成明场、暗场、DIC微分干涉及偏光观察功能,一键切换满足多样化检测需求

超景深成像技术:通过多焦平面堆叠算法实现7500X倍率下全景深成像,消除传统显微镜的焦深限制

高精度粒子分析:支持0.1μm级粒子尺寸测量,可自动统计单位面积内粒子数量及分布密度

模块化扩展设计:预留激光共聚焦、拉曼光谱等附件接口,可升级为多功能分析平台

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