双束电镜与飞秒激光联用系统
这台双束电镜与飞秒激光联用系统主要用于纳微米尺度下的切割、加工以及透射样品制备等工作。飞秒激光加工系统能够有效扩大聚焦离子束系统的加工范围，实现微米及纳微米尺度的联用加工分析。设备的离子束分辨率为3 nm（30 kV），激光器脉冲宽度优于350 fs，激光最高刻蚀率为106 μm³/sec，EDS能量分辨率优于127 eV，EBSD花样采集速度为945花样/秒。功能配置包括液态镓离子源、高通量数据采集系统、高级微纳加工系统、五支气体注入系统以及线路修复系统，能够满足高精度微纳加工和分析的需求。
主要用途
双束电镜与飞秒激光联用系统主要用于纳微米尺度下的切割、加工，透射样品制备等工作。飞秒激光加工系统可以有效扩大聚焦离子束系统的加工范围，可以使系统在微米及纳微米尺度实现联用加工分析。
项目介绍
设备参数/指标
l 离子束分辨率：3 nm @ 30 kV
l 激光器脉冲宽度：优于350 fs
l 激光最高刻蚀率：106 μm3/sec
l EDS能量分辨率：优于127 eV
l EBSD花样采集速度：945花样 /s
功能配置
l 液态Ga离子源
l 高通量数据采集系统
l 高级微纳加工系统
l 五支气体注入系统
l 线路修复系统
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