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聚集离子-电子双束显微镜

聚集离子-电子双束显微镜

332
规格/型号:暂无
品牌:集萃检测
应用领域:检测设备
产地:江苏 - 苏州
厂家/供应商:集萃检测技术服务有限公司
咨询电话::13951998182(请说明信息源自“中冶有色网”)
更新时间:2025-08-04
级别:待认证

聚集离子-电子双束显微镜说明介绍

聚集离子-电子双束显微镜

聚集离子-电子双束显微镜


用于金属、半导体等固体样品上制备微纳结构、精确定向制备高质量透射电镜样品等

主要用途

聚焦离子/电子双束电镜可用于金属、半导体等固体样品上制备微纳结构、精确定向制备高质量透射电镜样品等。结合附件可实现样品元素分布、相分布和晶粒取向等多种微观结构分析。

项目介绍

设备参数/指标

l 电子束和离子束最佳工作距离分辨率:

  ≤0.7 nm @ 1kV(非减速模式)

l Ga离子束分辨率:≤2.5 nm @ 30 kV

l EDS探测器能量分辨率:Mn Kα保证优于127 eV

l 元素分析范围:Be4~Cf98

l EBSD标定速率:在线标定速度高达400 点/秒

l 纳米机械手最小步长:≤50 nm

l 样品台倾转角度:-10°~60°

功能配置

l 内置二次电子/背散射电子探测器

l ICE 二次离子探测器 

l 铂/碳沉积气体

l 液态Ga离子源

l EDS/EBSD

l 三维重构
         
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