超大样品仓扫描电子显微镜
这台超大样品仓扫描电子显微镜主要用于较大样品的微观形貌观察和微区元素分析，配合拉伸台可进行原位观察。其分辨率在30 kV下为3.0 nm（二次电子和钨灯丝）和4.0 nm（VP与背散射电子），加速电压范围为0.2–30 kV。EDS探测器能量分辨率优于127 eV（Mn Kα），元素分析范围覆盖Be4至Cf98。样品仓可容纳最大高度210 mm、直径300 mm、重量5 kg的样品。功能配置包括二次电子探测器、背散射电子探测器、样品室CCD相机、五轴马达驱动样品台、能谱仪和原位拉伸台，能够满足多种复杂样品的微观分析需求。
主要用于较大样品的微观尺度形貌观察，以及微区元素分析；配合拉伸台，可以进行原位观察
主要用途
超大样品仓扫描电子显微镜主要用于较大样品的微观尺度形貌观察，以及微区元素分析；配合拉伸台，可以进行原位观察。
项目介绍
设备参数/指标
l 分辨率(SE and W)：3.0 nm@ 30 kV
l 分辨率(VP with BSD)：4.0 nm@ 30 kV
l 加速电压：0.2 – 30 kV
l EDS探测器能量分辨率：Mn Kα保证优于127 eV
l 元素分析范围：Be4～Cf98
l 最大样品高度：210 mm
l 最大样品直径：300 mm
l 最大样品重量：5 kg
功能配置
l 二次电子探测器
l 背散射电子探测器
l 样品室CCD相机
l 五轴马达驱动样品台
l 能谱仪
l 原位拉伸台
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