设备介绍
郑州科佳KJ150-XK是一款管式扩散氧化炉，适用于企业研发、大学及科研院所的科研与教学。可满足
多晶硅、氮化硅、扩散、氧化、退火等工艺。
产品特点
1、可满足多晶硅、氮化硅、扩散、氧化、退火等工艺
2、采用高可靠性工控机+PLC模式，对炉温、进退舟、气体流量、阀门进行全自动控制,实现全部工艺过程自动化;
3、具有友好的人机界面，用户可以方便地修改工艺控制参数，并可随时显示各种工艺状态;
4、具有多种工艺管路，可供用户方便选择;
5、具有强大的软件功能，配有故障自诊断软件，可大大节省维修时间;
6、恒温区自动调整，串级控制，可准确控制反应管的实际工艺温度;
7、具有超温、断偶、热偶短路、工艺气体流量偏差报警和保护功能;
8、可根据用户要求定制产品。
产品优势
工艺过程自动化
采用高可靠性工控机+PLC模式，对炉温、进退舟、气体流量、阀门进行全自动控制,实现全部工艺过程自动化
多段智能PID程序控温
控温系统采用PID方式调节，多段"时间—温度曲线"任意可设，可编程30步
操作简单快捷
具有友好的人机界面，用户可以方便地修改工艺控制参数，并可随时显示各种工艺状态
技术参数
实验型氧化扩散炉
产品型号 KJ150-XK
工作温度 ≦1300℃
应用晶片尺寸 2~8英寸圆片(更多规格可按需求定制)
可配工艺管数量 1~2管/台
温度变化速率 最大升温速率10℃/min，最大降温速率5℃/min
安全预警 具有超温、断偶、热偶短路、工艺气体流量偏差报警和保护功能
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