iMicro高精度微纳米压痕仪
KLA公司全系列的力学测试产品均采用电磁驱动原理的加载力激发器， iMicro微纳米压痕仪。对纳米压痕物理模型和优线性特性的电磁力驱动原理的深刻理解，以及具有良好灵敏度的三片式电容传感器的设计，保证全系列纳米力学产品在整个量程范围内均能得到高分辨的控制。1000mN载荷范围，6nN加载精度，0.04nm位移精度。
• 快速准确的动态纳米压痕测试
• 电磁加载方式
• 快速准确的位移测量
• 超高框架刚度
• 热漂移 <0.05nm/s
主要功能
静态/动态纳米压痕：杨氏模量/硬度
连续刚度：高准度薄膜测试，杨氏模量/硬度，<100nm
DMA功能：橡胶等粘弹性材料存储模量/损耗系数
划痕测试
高温纳米压痕300℃
断裂韧性测试
横向加载，泊松比测试
3D/4D 杨氏模量/硬度mapping
技术特点
•电磁制动器适用于包括IMicro在内的纳米力学公司生产的所有系统
•这些执行器是一种坚固的线性装置，具有固定的解耦力和位移。大的力为1N，分辨率为6nN，低噪音<200nN。
•IMicro的时间常数为20us，是一种能满足规格要求，大压痕为80um噪声小于0.1nm，数字分辨率为0.04nm，漂移率<0.05nm/s
•IMicro包括InView软件，它提供非常强大和直观的实验脚本平台，可以用于设计新颖的实验。有经验的用户可以使用IMicro进行几乎所有小规模的机械测试。
•样品台移动Z轴为25 mm，X为100 mm，Y轴为150 mm，可测试各种样品高度和大样品区。
•载荷刚度>3,500,000N/m
•特的TiP-calibration系统集成到软件中，可以快速、准确、自动的对尖端进行校准。可选择NanoBlitz地形和断层扫描软件来执行
•更高的负载和更广泛的应用使IMicro成为世界上研究实验室的选择
•允许进行广泛的测试，包括但不限于特定频率的实验、存储和损失模量、模量和硬度（Oliver和Pharr）和恒定应变率。
•多功能执行机构可用于测试多种材料，从超软凝胶到硬涂层。
•可用的划痕选项，大负载为50mN，大划痕偏差为2.5mm，大划痕速度为500um/s。
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