纳米压痕仪主要用于测量纳米尺度的硬度与弹性模量，可以用于研究或测试薄膜等纳米材料的接触刚度、蠕变、弹性功、塑性功、断裂韧性、疲劳、存储模量及损耗模量等特性。
测得的硬度单位为GPa,与维氏硬度可换算维氏硬度单位HV和GPa换算1GPa=102.04HV。
纳米压痕划痕仪可提供参数：材料硬度，弹性模量，韧性，结合力，涂层强度，断裂韧性，弹性模量等参数。
硬度分类
洛氏硬度：洛氏硬度是一个无纲量的力学性能指标，其最常用的硬度标尺有A、B、C、R、M、L等，通常记作HRA、HRB、HRC等，其表示方法为硬度数据+硬度符号，如50HRC。
维氏硬度：维氏硬度通常表示如下：600HV30/20，V前面的数值为硬度值，后面则为试验力，如果试验力保持时间不是通常的10-15秒，还需在试验力值后标注保持时间。
布氏硬度:：布氏硬度的符号用 HBS或HBW表示。适用于铸铁、非铁合金、各种退火及调质的钢材，不宜测定太硬、太小、太薄和表面不允许有较大压痕的试样或工件。
邵氏硬度：邵氏硬度的单位是“度”，其描述方法分A、D两种，分别代表不同的硬度范围， 邵氏A硬度计的量程是0-100HA，邵氏D硬度计的量程是0-100HD.以读数为准。
努氏硬度：努氏硬度（符号HK）是通过将试验力除以压痕投影面积A (mm2)所计算的值，该面积根据在试验力F通过按压长菱形金刚石压头(相对边角为172˚30'和130˚)在标准片上形成的压痕的较长对角线长度d (mm)计算。
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