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设备名称 Equipment name
管式低压氧化退火设备 Horizontal Low Pressure Oxidation/Annealing Equipment
设备型号 Equipment Model
DOA-420/DOA-420L/DOA-420MAX
设备用途 Equipment Application
低压氧化、退火。
Low Pressure oxidation, annealing.
技术特点 Features
1、大产能。
High throughput.
2、配套相关专利技术，可兼容或升级硼扩散工艺。
Patented technology, compatible or upgradeable with boron diffusion process.
3、独特双嵌套炉门结构。
Unique double-layer-nested furnace door structure.
4、高速平稳整体模组推舟机构。
High-speed and stable integral module boat pushing mechanism.
设备参数 Parameters
·最大兼容硅片尺寸:□230mm
·Max. Compatible Wafer Size:230mm
·单机管数:5管/6管
·Tube Configuration: 5 tubes/6 tubes
·单管装片量Loading Capacity/Tube
机型Model：182□210
DOA-420：1600片/管(pcs/tube)、1600片/管(pcs/tube)
DOA-420L：2640片/管(pcs/tube)、2400片/管(pcs/tube)
DOA-420MAX：3288片/管(pcs/tube)、2860片/管(pcs/tube)
·单机产能Throughput
机型Model：TOPCon、PERC
□182、□210、□182、□210
DOA-420(6管/tubes)：4800片/小时(pcs/h)、4800片/小时(pcs/h)、9600片/小时(pcs/h)、9600片/小时(pcs/h)
DOA-420L(6管/tubes)：7900片/小时(pcs/h)、7200片/小时(pcs/h)、15850片/小时(pcs/h)、14400片/小时(pcs/h)
DOA-420MAX(6管/tubes)：9850片/小时(pcs/h)、8550片/小时(pcs/h)、19700片/小时(pcs/h)、17100片/小时(pcs/h)
·外形尺寸(mm，含地脚)Footprint(mm, incl.leveling foot)
DOA-420：9080x2165x4300(6管/tubes)、9080x2165x3790(5管/tubes)
DOA-420L：9888x2076x4400(6管/tubes)、9888x2076x3750(5管/tubes)
DOA-420MAX：10408x2240x4490(6管/tubes)、10408x2240x3885(5管/tubes)
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