倾斜旋转式管式炉设备
倾斜旋转式等离子体增强化学沉积（PECVD）管式炉设备
货号 : KT-PE16
最高温度
1600 ℃
恒定工作温度
1550 ℃
炉管直径
60 毫米
加热区长度
2x300 毫米
加热速率
0-10 ℃/min
应用
KT-PE16 倾斜旋转式 PECVD 炉 PECVD 炉由一个 500W 射频等离子源、一个双区 TF-1200 管式炉、4 个 MFC 气体精确控制单元和一个标准真空站组成。炉子的最高工作温度可达 1600℃。工作温度高达 1600℃，炉管为直径 60mm 的 Al2O2 陶瓷管；4 通道 MFC 质量流量计，气源为 CH4、H2、O2 和 N2；真空站为 1 台 4L/S 旋片
真空泵，最大真空压力为 10Pa。真空压力可达 10Pa。
优点
射频等离子体自动匹配源，5-500W 宽输出功率范围，输出稳定
高速加热和短时间冷却的炉腔滑动系统，可辅助快速冷却和自动滑动运动
PID 可编程温度控制，控制精度高，支持远程控制和集中控制
高精度 MFC 质量流量计控制，源气预混，供气速度稳定
不锈钢真空法兰，多种适配接口，满足不同真空泵站设置，密封性好，真空度高
CTF Pro 采用一个 7 英寸 TFT 触摸屏控制器，程序设置和历史数据分析更友好
安全优势
Kindle Tech 管式炉具有过流保护和过温报警功能，炉子会自动关闭电源
炉子内置热耦合检测功能，一旦检测到破损或故障，炉子将停止加热并报警
PE Pro 支持断电重启功能，故障后接通电源时，炉子将恢复加热程序
技术规格
552 
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