带液体气化器的滑动 PECVD 管式炉
应用
KT-PE12 带液体气化器的滑动 PECVD 系统由一个 500W 射频等离子源、一个 TF-1200 滑动炉、4 个 MFC 气体精确控制单元和一个标准真空站组成。炉腔轨道滑动系统，可实现快速加热和快速冷却，可选配辅助强制空气循环风扇，加快冷却速度；可选配滑动自动工作装置；最高工作温度可达 1200℃。工作温度最高可达 1200℃，炉管为一根直径 60 毫米的石英管；4 通道 MFC 质量流量计，气源为 CH4、H2、O2 和 N2；真空站为一台 4L/S 旋片
真空泵，最大真空压力可达 10P。真空压力可达 10Pa。
优势
射频等离子体自动匹配源，5-500W 宽输出功率范围，输出稳定
高速加热和短时间冷却的炉腔滑动系统，可提供辅助快速冷却和自动滑动功能
PID 可编程温度控制，控制精度高，支持远程控制和集中控制
高精度 MFC 质量流量计控制，源气预混，供气速度稳定
不锈钢真空法兰，多种适配接口，满足不同真空泵站设置，密封性好，真空度高
CTF Pro 采用一个 7 英寸 TFT 触摸屏控制器，程序设置和历史数据分析更友好
安全优势
Kindle Tech 管式炉具有过流保护和过温报警功能，炉子会自动关闭电源
管式炉内置热耦合检测功能，一旦检测到破损或故障，管式炉将停止加热并报警
PE Pro 支持断电重启功能，故障后接通电源时，窑炉将恢复窑炉加热程序
技术规格
526 
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