多加热区 CVD 管式炉
最高温度
1400 ℃
恒定工作温度
1300 ℃
炉管直径
60 毫米
加热区
2x450 毫米
加热速率
0-10 ℃/min
应用
KT-CTF14 多区 CVD 炉有 2 个加热区，最高工作温度可达 1200℃，炉管为直径 60mm 的石英管；4 通道 MFC 质量流量计，气源为 CH4、H2、O2 和 N2；真空站为 4L/S 旋片
真空泵，最大真空压力可达 10Pa。真空压力可达 10Pa。
特点
独立的加热区，既能产生较长的恒温区域，又能控制温度梯度
PID 可编程温度控制，控制精度高，支持远程控制和集中控制
高精度 MFC 质量流量计控制、源气预混合和稳定的供气速度
不锈钢真空法兰，多种适配接口，满足不同真空泵站设置，密封性好，真空度高
KT-CTF14 Pro 采用一个 7 英寸 TFT 触摸屏控制器，程序设置和历史数据分析更友好
技术规格
758 
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