电子束区域熔炼（提纯单晶）炉
磐一（西安）装备技术有限公司专业设计的电子束区域熔炼设备由炉体部分、夹料部分、真空系统部分、电子枪部分、高压电源部分、自动控制系统、水冷系统等组成。要求整体结构紧凑，布局合理，维修维护方便。
（1）炉体部分：炉体为立式结构，包括304L不锈钢炉体、不锈钢炉门、碳钢架体等配件。
（2）温度控制系统：加热部分、测温控温仪表等。
（3）电子枪：电子枪有三块聚束极和一块紫
铜底板以及灯丝和相关高压绝缘件组成。
（4）真空与气氛控制系统：
真空泵、真空测量装置、管道、阀门、接口等。管道、阀门一律采用不锈钢或更优质材质。
（5）电子枪移动系统：电子枪移动系统应带有水冷系统，由不锈钢制造，伺服电动缸进行传动。
（6）集成控制系统：可将炉体、真空系统、温控系统等相关仪表的控制集成到控制台）。
（7）冷却水循环系统：工艺冷却水循环管道、阀门均采用不锈钢或更优材质，以确保水质稳定。
（8）安全连锁装置与预警系统：冷却水和气氛控制中超压和冷却能力不足时，有安全连锁和必要预警。
电子束区域熔炼
区域熔炼设备是将提纯的材料制成细棒，通过电子束加热，使一小段固体熔融成液态，熔融区域液相温度仅比固态材料的熔点高几度，稍加冷却就会析出固相。熔融区沿着轴向缓慢移动，杂质也随着移动，最后富集于棒的端部。精炼时间通常为多个小时，在试棒进行区域熔炼之后，将端部杂质含量高的部分切除，再进行第二次、第H次提纯处理，达到提纯目的。运用区域熔炼，不仅可以将杂质均匀的渗透到晶体中去，而且在这一过程中，位错结构缺陷、夹杂物等可以得到有效控制，甚至被消除。用区熔堆积法可以制备单晶。
规格参数
电子束区域熔炼参数：
784 
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