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产品详情介绍
该PECVD(等离子化学气相沉积系统)系统，有多路质量流量计系统(进口流量计)，真空机组(进口真空泵)，PE射频电源(进口射频源)，温控系统等装置构成。使用PE源将气源等离子化，有利于降低工艺温度，同时扩大工艺的使用条件，满足更多的工艺实验要求，如石墨烯、碳纳米管等，控制操作系统集成于触摸屏操作面板上，便于操作与观察。
技术参数：
双温场滑轨炉
主要特点：
滑轨式快速升温炉是专为生长石墨烯研制的石墨烯生长专用炉，也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验，这款设备是根据开启式真空管式炉改装而来的，操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处，使样品能得到一个快速的升温速度，同样也可将高温的管式炉直接推离样品处，使样品直接暴露在室温环境下，得到快速的降温速率。
技术参数：
额定功率（KW）：4
额定电压（V）：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz
最高温度（℃）：1200（1 hour）
持续工作温度（℃）：1100
最大升& 降温速率（℃/S）：≤20
炉管尺寸（mm）：高纯石英管Φ50×1900（管径可选）
加热区长度（mm） :230+230
恒温区长度（mm）：100+100
控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制具有超温和断偶报警功能
控温精度（℃）：±1
密封系统：炉管两端配304不锈钢水冷密封法兰（包括精密针阀，指针式真空压力表，法兰进气端配置两个Φ6mm卡套进气口。
净重（Kg）：80
射频电源500W
信号频率：13.56 MHz±0.005%
功率输出范围：L5W-500W
最大反射功率：200W
射频输出接口：50 Ω, N-type, female
功率稳定度：±0.1%
谐波分量：≤-50dbc
供电电压：单相交流（187V-253V）
频率：50/60HZ
整机效率：>=70%
功率因素：>=90%
冷却方式：强制风冷
供气系统
工作电压：185~245V 50HZ
最大输出功率：18W
流量计标准量程：100sccm，200sccm，200sccm，500sccm（非特殊指定以氮气标定，量程可选）
工作温度：5~45℃
工作压差：0.1~0.5MPa
最大压力：3MPa
准确度：±1.5% FS
测量范围：-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid）
针阀：316不锈钢
混气罐：Φ80×120mm
截止阀：Φ6mm”316不锈钢针阀
尺寸：600×600×650 mm
低真空机组VAU-02
空气相对湿度： ≤85%
工作电电压：220V±10% 50~60HZ
抽气速率：8m³/h
极限真空：4X10-2Pa
实验真空度：1.0X10-1Pa
容油量： 1.1L
进气口口径：KF25
排气口口径：KF25
转速：1450rpm
噪音：50dB
外型尺寸：600×600×600mm
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