一、产品特点
滑轨式快速升降温炉是专为生长薄膜石墨烯研制的，也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验，操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处，使样品能得到一个快速的升温速度，同样也可将高温的管式炉直接推离样品处，使样品直接暴露在室温环境下，得到快速的降温速率。
二、主要技术参数
双温区滑轨炉BTF-1200C-II-SL Φ100mm
技术参数：
额定功率：5KW
额定电压：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz
最高温度：1200℃（1 hour）
持续工作温度≤1100℃
推荐升温速率≤20℃/min
炉管尺寸：高纯石英管Φ50/60/80/100*1650mm（石英管管径可选）
加热区长度：200+200mm
恒温区长度：100+100mm
移动方式：炉体可在底部导轨在手动自由移动。
控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能
控温精度：±1℃
供气系统3路质子触摸屏控制（ GMF-3Z）
主要特点： 该供气系统是一种可控制三种气体按不同流量进行混合配比，也可根据实验需求加装洗气装置，质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。触摸屏控制，此款设备与BEQ品牌的各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统。
技术参数：
工作电压：185~245V，50 Hz
最大输出功率：18W
流量计标准量程：5sccm、50sccm 、100sccm、 200sccm（非特殊指定以氮气标定，量程可选）
工作温度：4~45℃
工作压差：0.1~0.5Mpa
最大压力：3Mpa
准确度：±1.5%F.S
压力表测量范围：-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid）
针阀：316不锈钢
混气罐：Φ80*120mm
截止阀：Φ6mm
尺寸：600*600*650mm
低真空机组VAU-02
设备特点：VAU-02是一套低真空机组，内部安装DRV-10机械泵1台，电阻真空计1套，并含有配套使用的波纹管，手动挡板阀，卡箍等连接部件。
1、技术参数：（DRV-10）
空气相对湿度≤85%
工作电电压：220V±10% 50~60HZ
功率：1千瓦
抽气速率：10m3/h
极限真空：4X10-2Pa
实验真空度：1.0X10-1Pa
容油量：1.1L
进气口口径：KF25
排气口口径：KF25
转速：1450rpm
噪音：50dB
外型尺寸:600×600×650m
2、进口真空计参数：
型号：PCG550
特点：其测量范围为3.8x10-5至1125Torr.当气压在10mbar以上时，不需因测量气体种类不同而需要系数转换。具有较高的精确度和重复性，响应时间较短（≤30ms)。而且传感器上涂有防腐涂层，所以此款真空计具有较强的抗腐蚀性。
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