本发明公开了一种超精密模具异物残留清洗装置和使用方法，旨在解决现有的对增光膜模具清洗方式或导致模具失效或存在高成本的不足。该发明包括与模具偏置的激光发射器和探测元件，根据探测元件的探测结果激光发射器运动以对准异物残留，激光发射器具有预设配置使激光发射器产生的激光在不损伤模具的前提下剥离异物残留。激光照射的方式为非接触式，杜绝了伤害模具的可能，延长了模具的寿命，在线清洁和随检随清的方式节省了装卸时间，加快了生产节拍，在异物产生的第一时间即进行清洗，可以保证产品不受到模具上的异物的影响，提高产品的良率。
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来源：北方有色网
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