化学机械研磨设备包括：布置在机械臂保持部分上的反向传感器安装孔、布置在反向传感器安装孔内的机械臂传感器、以及布置在机械臂部分上的检测对象。由于机械臂部分相对于机械臂保持部分的旋转，当机械臂部分上设置的检测对象所形成的扇形的开口部分对应于反向传感器安装孔位置处的机械臂传感器时，安装孔处的机械臂传感器感测到机械臂，从而机械臂传感器发出复位通知信号；而且，处理单元在从机械臂传感器接收到复位通知信号之后才启动对待处理晶圆的化学研磨处理。所以，该改进设计解决了原有机台设计的一个缺陷：当传感器失效时，如果机械臂不在位置机台也不会停止研磨。只有当传感器工作正常而且机械臂位置正确时候机台才可以开始研磨处理。
声明：
“化学机械研磨设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
853
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
